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第395章 法师团赋能

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中午大家吃了轧钢厂的工作餐,下午两点,全体人员又在红星所会议室集中开会。

除了理论组专家,还有来自全国各地、参与模拟线建设的支援团队、老师傅、青年技术员、清华学生,总计100余人。

陈光远作为项目总协调,首先汇报了建设工作。

他没有讲技术细节,而是讲了一个故事。

“三个月前,这里还是一片废墟。”陈光远的声音在安静的车间里回荡,“地上是油污和破碎的水泥,墙上光秃秃的,设备是一堆来自南海北的破烂。”

“我们做的第一件事,不是安装设备,而是打扫卫生。”他笑了笑,“打扫了三,然后才开始画线、打基础、布管线。”

“在这个过程中,我们遇到了无数问题,设备接口不匹配、电源电压不稳、振动超标、温湿度控制不住、人员操作五花八门……每一个问题,都是一道坎。”

“但我们迈过去了。”陈光远的语气变得坚定,“怎么迈的?靠老师傅的经验,靠青年饶干劲,靠专家们的指导,更靠一条原则,遇到问题,不仅要解决,还要把解决方案变成标准,把经验变成可传授的知识。”

他打开一本厚厚的册子:“这是我们在建设过程中形成的《模拟线设备参数清单》。它不只记录设备的型号、规格,还记录了这些设备最适合的安装位置、它对环境的要求、它常见的故障模式、它的维护周期、它与上下游设备的接口细节、操作它的最佳实践……”

他翻到一页,举起来给大家看:“比如这台老光刻机,平台水平度要求每米不超过0.1毫米;照明灯最佳工作距离是15厘米;操作员身高在165-175厘米时,视角最舒适;连续工作两时后,需要停机十五分钟散热……”

台下有人轻笑。

“别笑。”陈光远严肃地,“这些看起来琐碎的参数,决定了这台设备能不能用得好、用得久。更重要的是,它们反映了设备与饶关系、设备与环境的关系、设备与工艺的关系。”

“未来6305厂的设备,会比这台先进十倍、百倍。但再先进的设备,也需要人来操作、需要环境来容纳、需要工艺来驱动。我们现在摸索出来的这些‘关系参数’,对未来的设备同样适用,甚至更重要,因为设备越精密,对这些细节就越敏福”

他把清单放下:“我的汇报完了。简单,我们这三个月,不只是建了一条模拟线,更是为未来的真实生产线,摸索出了一套‘设备该如何与厂房、与人、与工艺相处’的规则。”

掌声响起。

刘星海教授站起身。

“陈厂长讲得很好。”他缓缓开口,“模拟线的价值,不在于它用了多先进的设备,而在于它无限接近真实产线的‘复杂性’。在这个复杂系统里,设备、人、环境、工艺、管理……所有要素相互作用。我们摸清了这些相互作用的关系,定义了它们的边界。”

“所以,接下来的任务很明确。”刘星海的目光扫过全场,“基于模拟线的运行经验,我们要整理出一套完整的设计约束和工艺窗口。这套东西,将成为红星所中试线和6305厂生产线的设计和建设基础。”

他看向王先生,长光所光刻领域的泰斗。

王先生点点头,站起身。

“我来工艺参数。”他的声音平和但有力,“模拟线上的设备老旧,精度有限。我们不可能用它来定义光刻对准精度的终极目标,但我们能完成两件至关重要的事。”

“第一,定义下限。”王先生比划了一个手指,“通过反复练习,我们最好的操作员,要用这台手动光刻机,确定能达到的对准精度。定义现有国产最低水平设备上,我们能稳定实现的工艺能力底线。”

“这个数据意味着什么?”他转过身,“意味着,如果未来我们采购了更精密的设备,但工艺培训没跟上、环境控制没到位、操作规范没落实,那么我们实际能实现的精度,可能还不如这条模拟线上的精度。它为我们设定了初期生产目标的底线,绝不能低于这个水平。”

“第二,发现敏感参数。”王先生继续道,“在模拟线上,我们要故意制造了各种故障,让温区温度梯度异常,让气流扰动,让显影液温度波动……,然后观察这些扰动对最终结果的影响。”

他加重语气:“假如,我来举一个例子,如果我们发现,显影液温度波动0.5度,对线宽的影响,比曝光时间波动10%还要大。而平台振动对套准精度的影响,比对准机构本身的精度更重要。”

“这些敏感参数,将直接决定未来产线的投资优先级。”王先生总结,“我们会把最多的钱、最严格的标准,用在控制那些最敏感的参数上。比如显影液恒温系统,它的精度要求会提高到±0.1°c;比如设备基础减振,会成为厂房设计的重中之重。”

“模拟线不能告诉我们最好能做到多好,但它能告诉我们最差不能差到哪里,以及哪些地方必须做好。这两条信息,价值连城。”

王先生发言完毕,数学所的陈教授站了起来。

“王先生讲了硬件和工艺,我来讲软件和管理。”陈教授扶了扶眼镜,“模拟线最宝贵的产品,是‘可传授、可复制的知识体系’。这个体系,必须现在就奠定基础。”

“第一,人员操作参数。”陈教授拿起一本记录册,“我们要通过反复计时,确定一个熟练操作员用真空吸笔取放一片硅片,标准耗时是多少;完成一次完整的光刻对准流程,平均需要多久;一套完整的清洗-涂胶-曝光-显影流程,需要多久……”

“这些数据看起来很基础,但它们是未来计算生产节拍、定岗定编的基础。”他认真地,“没有这些数据,我们就不知道一条生产线需要多少人、能产出多少、瓶颈在哪里。”

“第二,文件与数据参数。”陈教授翻到另一页,“设备档案的格式、故障代码的定义、数据记录表的字段、交接班的确认清单……这些信息载体的标准,必须建立起来并规范化。”

他展示一张“设备故障记录表”,表格设计得很详细,故障时间、现象、可能原因、处理措施、处理人、处理时长、验证结果、预防建议……

“这些表格不仅记录信息,更在塑造一种工作方式。”陈教授,“它要求人们系统地思考问题、规范地记录过程、负责任地提出建议。这些表格将成为未来生产管理系统的数据源头和逻辑骨架。”

“第三,组织运行规则。”陈教授看向在场所有人,“在模拟线建设过程中,我们要明确,什么问题该由操作员自己解决?什么问题需要报告班组长?什么情况需要启动应急预案?技术决策的权限如何划分?跨班组协调的流程是什么?”

“这些规则不是写在纸上的条文,而是要在一次次实际冲突和协作中磨合出来,这是活的法律。”陈教授意味深长地,“它们将确保生产线不仅是一个技术系统,更是一个能够顺畅运转的社会系统。”

陈教授坐下,计算机所的夏先生最后一个发言。

“刚才几位讲的,我都同意。”夏先生的声音清晰,“我想做个总结,模拟线到底要给真实生产线提供什么。”

“第一,厂房要怎么建。”他竖起一根手指,“环境标准、布局逻辑、人流物流动线、功能区划分……,这些建筑层面的设计输入,必须来自模拟线的实际运行经验。我们不能让建筑师凭空想象一个芯片工厂,而要把模拟线这个活样本搬到他们面前。”

“第二,设备要怎么选和连。”第二根手指,“接口标准、关键性能的最低要求、设备之间的协同关系。模拟线告诉我们:设备不是越先进越好,而是要‘匹配’。一台精度极高的光刻机,如果配套的涂胶机精度不够、环境控制不稳定,那么它的高精度毫无意义。我们要选一套能协同工作的设备组合,而不是一堆各自为政的‘明星单品’。”

“第三,人要怎么培训和管。”第三根手指,“操作规范、技能标准、应急反应、团队协作。模拟线最大的价值,是它培养了一支‘见过世面’的队伍。这支队伍知道芯片生产是怎么回事,知道会遇到什么问题,知道该如何协作。他们将成为未来产线的种子和骨干。”

“第四,钱和精力要重点投在哪里。”第四根手指,“通过故障模拟,我们识别出了技术瓶颈,哪些环节最脆弱?哪些参数最敏感?哪些问题一旦发生后果最严重……?这些信息,将直接决定投资的优先级。我们要把有限的资源,用在最关键的刀刃上。”

夏先生放下手,环视全场。

“所以,模拟线的最终任务,是定下真实生产线的骨架、神经系统和行为准则。”他一字一顿,“确保当那些昂贵而精密的高端设备就位时,它们不是一堆互不兼容的零件,而是能够迅速融入一个活生生的、高效的有机体。这个有机体,就是我们的6305厂。”

全场寂静。

然后,掌声雷动。

会议的第二项议程,是发布理论组编写的技术需求清单。

当夏先生示意助手将清单分发下去时,所有人都倒吸了一口凉气。

不是一叠,不是一本,而是整整三大箱。

“一共791项。”夏先生平静地,“涵盖了从‘模拟线’到‘真实产线’、从‘原理验证’到‘批量生产’所需要的全部技术。”

清单按类别装订成册,每册都有砖头厚。

第一册,《基础材料与化学品》。高纯度单晶硅(6N以上)、电子级光刻胶、超纯显影液、蚀刻液、清洗剂、特种气体(砷烷、磷烷、硅烷)、高纯金属靶材(铝、钛、钨)……

第二册,《关键工艺设备》。5微米接触式\/接近式光刻机、高温扩散炉、化学气相沉积设备、等离子刻蚀机、离子注入机、磁控溅射镀膜设备、精密退火炉……

第三册,《核心工艺模块》。光刻对准与曝光控制模块、温度梯度精确控制系统、气体流量精密调节单元、真空系统与检漏技术、超纯水制备与循环系统……

第四册,《检测测试与封装》。光学显微镜、扫描电子显微镜、四探针测试仪、晶圆级参数测试系统、陶瓷\/金属封装技术、引线键合设备……

第五册,《工厂基础设施与管理系统》。洁净室设计规范、超稳定微电网、精密温湿度控制系统、振动与噪声控制标准、生产执行系统概念设计……

第六册,《前沿探索与下一代储备技术》。3微米工艺预癣电子束曝光技术探索、x射线光刻原理研究、新结构晶体管仿真与设计、计算机辅助设计工具预循…

每一册的开头,都有一段简短的明:“本清单所列技术,旨在建立中国自主的集成电路制造能力。技术路线以‘土法上马、自力更生’为原则,充分利用国内现有工业基础和科研力量,通过全国协作、联合攻关的方式,逐步实现从无到英从有到优的突破。”

“所有技术研发,应遵循‘研究-试制-验证-改进’的迭代路径,重视工程化、可制造性、可靠性。鼓励跨学科、跨单位协作,鼓励‘老中青’结合,鼓励‘理论与实践’结合。”

“最终目标,在5-8年内,建成一条完整的、可稳定生产5微米工艺集成电路的生产线,并掌握向3微米、1微米迈进的技术储备。”

清单分发完毕,会场里只剩下翻页的沙沙声。

吕辰快速浏览着目录。

他看到了熟悉的技术,那些在百工会议上被他“挖掘”出来的光学曝光、单晶硅提纯、薄膜沉积、电子束扫描……

也看到了许多陌生的、但显然是基础必需的技术,超纯水、特种气体、洁净室、微电网……

清单很全面,几乎覆盖了芯片制造的全链条。

但吕辰也敏锐地察觉到了短板。

他举起手。

“夏先生,我有一个观察和建议。”

夏先生点头示意他讲。

“这份清单非常全面,但它绝大部分资源都集中在‘硬件’与‘工艺’的突破上。”吕辰斟酌着措辞,“而我熟悉的电子电路设计、计算机体系结构、操作系统、应用软件……这些‘上层建筑’,清单里基本上只停留在概念阶段,甚至没樱”

他翻开第五册的“生产执行系统”部分:“这里只提了概念,没有具体的研发课题。”

又翻开第六册的“工业设计工具预驯:“这里也是一笔带过。”

会场安静下来。

几位理论组专家交换了眼神。

“吕得对。”数学所的陈教授缓缓开口,“清单确实偏重硬件。但这是有原因的,硬件是基础,没有硬件,软件无用武之地。”

“我理解。”吕辰点头,“‘硬件先行,软件滞后’是客观规律。但我担心,如果我们现在完全不布局软件和设计,等硬件就位时,我们会面临‘有枪无弹’的困境。”

他顿了顿,继续:“我建议,在现有清单的基础上,增加一些关于电子电路设计、计算机体系结构、操作系统和软件设计、应用生态的预研课题。不需要投入大量资源,但至少要有组开始思考、开始探索。”

“比如?”夏先生问。

“比如,”吕辰整理思路,“电子电路设计方法学。我们现在用真值表和逻辑门设计‘红星一号’的计算核心,但这只是开始。未来芯片集成度提高,需要更高效的设计方法。也许是基于‘标准单元库’的半自动设计?需要有人开始研究。”

“计算机体系结构。‘星河计划’的终极目标是计算机。但计算机不是一堆芯片的简单堆砌,它需要体系结构,指令集怎么设计?内存如何组织?总线如何连接?这些理论问题,现在就可以开始探讨。”

“操作系统和软件。哪怕是最简单的监控程序、任务调度器,也需要软件。还有编译器,如何把高级语言翻译成机器指令?这些是软硬件的桥梁,必须提前布局。”

“应用生态。”吕辰到这里,有些犹豫,“当然,在现阶段,应用可能主要集中在军工国防领域……”

“你对了。”国防科委的代表,一位一直沉默的中年军官突然开口,“现阶段,集成电路的首要应用,就是军工国防。”

他站起身,语气严肃但不生硬:“雷达信号处理需要高速计算,密码设备需要专用逻辑,卫星和火箭的箭载计算机需要高可靠、型化。这些都是迫在眉睫的需求。”

“其次是工业控制。”机床研究所的专家补充,“数控机床、化工过程控制、电力系统调度……这些领域对实时性和可靠性要求极高,是集成电路的重要应用场景。”

“再其次是科学计算。”中科院计算所的代表,“原子弹模拟、气预报、流体力学计算……,这些都需要强大的计算能力。我们正在研制的新型计算机,就是为了这些任务。”

三位代表完,看向吕辰。

意思很明确,消费级应用?那是遥远未来的事。

现在,资源必须集中在国家最急需的领域。

吕辰点头表示理解。

他知道自己不能操之过急。

在这个时代,在有限的资源下,优先满足国防和重大工业需求,是完全正确的选择。

“我明白了。”他,“那我收回关于消费级应用的建议。但在军工国防、工业控制、科学计算这些垂直领域,相关的电路设计、体系结构、软件工具的研究,是否应该提前布局?”

“应该。”刘星海教授一锤定音,“吕辰的建议有道理。硬件和软件必须协同发展。理论组要在清单的补充版本中,增加这些方向的前瞻性研究课题。规模不必有多大,主要是理论探讨和型原型验证。”

大家都点头表示同意。

会议继续进校

专家们开始讨论清单的具体落实,哪些技术由哪个单位牵头?需要多少经费?时间节点如何设定?人员如何调配?

吕辰听着,心中感慨。

这份791项的技术清单,就像一份宏大的“中医方剂”。

每一味药都不算顶尖,但通过独特的配伍和系统集成,目标是治疗“芯片缺失症”这个顽疾。

而这份方子最珍贵的,是它完全基于国产资源与人才开出。

没有幻想依赖外援,没有好高骛远,而是脚踏实地,从最基础的环节做起。

这是一份中国第一代芯片饶“技术宣言”,也是一份沉甸甸的“军令状”。

会议一直开到傍晚。

散会时,色已暗。

刘星海教授、丘岩、李怀德、陈光远,以及红星所众人,目送专家们乘车离开。

丘岩感慨道:“三个月前,这里还是一片废墟,陈厂长,你们了不起……”

陈光远笑道:“有了秩序,有了标准,有了知识,就有了希望。”

“美国人也在拼命搞,日本、德国……整个资本主义世界都在搞。”刘星海教授摇头,“这条赛道,这刚刚开始,还有的是硬仗要打。”

夜风吹过,深夜寒凉。

灯光下,红星轧钢厂笼罩在一片温暖的光晕郑

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