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第424章 产线贯通

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1965年4月7日,凌晨五点。

吕辰从动力中心的临时宿舍里爬起来,用冷水洗了把脸。

窗外还是黑的,但1号厂房的灯光就没停过。

他披上外套,推开门,冷风扑面而来。

北京四月初的清晨,依然寒气逼人,地上结着薄薄的白霜。

他走向动力中心的主控室,现在是超纯水系统最后一次联调。

三前,终端出水已达18.2兆欧厘米,连续稳定运行了48时。但按照陈光远的要求,必须再跑一个72时的全程考核,把所有可能出问题的环节都暴露干净。

今是最后一。

主控室里,动力中心的专家正盯着仪表盘,手里的搪瓷缸子已经凉透。

“王工,怎么样?”

“稳。”王工头也没回,“昨晚上十点到现在,所有参数纹丝不动。吕,这水,比我当年在苏联看到的还要纯。”

吕辰走到窗前,望着1号厂房那沉默的竖窗。

穿着白色防尘服的人影在里面晃动。

那是长光所的团队,正在为光刻机做最后的稳定性测试。

他又转头看向2号厂房,工地上,焊光还在闪烁。

那是扩散炉的外围管道正在安装,工人们已经连续倒班一个星期了。

一切都在向前走。

上午般,陈光远出现在动力中心。

他脸色有些疲惫:“怎么样?”

“72时到了。”王工指着仪表盘,“电阻率18.2,toc于20ppb,颗粒物零检出。陈厂长,成了。”

陈光远盯着仪表盘上的数字看了很久。

“通知李厂长、丘书记,还有所有车间主任、工段长,下午两点,在1号厂房设备通道门口开会。”

他顿了顿,声音忽然有些发紧:“告诉大伙儿,6305厂,贯通了。”

消息像长了翅膀一样传遍了整个厂区。

吕辰和陈光远沿着厂区的主干道往1号厂房走。

路上不断有人和他们打招呼。

“陈厂长、吕工,超纯水成了!”

“咱们是不是要开工了?”

“什么时候能见到咱们自己造的芯片?”

他们一一回应,脚步却没有停。

走到1号厂房门口,刷了卡,通过风淋室,换上防尘服,走进洁净车间。

长光所的工程师蹲在那台巨大的光刻机旁边,手里拿着水平仪,眼睛几乎贴在了仪器上。

“刘工,怎么样?”

刘工一脸虔诚:“吕,你来看。”

吕辰顺着刘工的手指,看见了投影物镜上的微刻度盘。

指针稳稳地停在零位上。

刘工缓缓道:“两微米,一微米,半微米……,昨晚上,最后一微米也调平了。这台机器,现在可以用了。”

吕辰盯着那个刻度盘:“刘工,辛苦您了。”

刘工摇了摇头:“谈不上辛苦,这台机器是我们造的,就像自己的闺女,总要让她在婆家安顿好是不是。”

吕辰比了个大拇指。

下午两点,1号厂房设备通道门口,黑压压站满了人。

陈光远、李怀德、丘岩站在最前面。

后面是来自全国各地的专家们,再后面,是6305厂自己的技术骨干,是刘星海教授从全国各高校招来的年轻学子,他们刚刚从各协作单位培训回来。

还有那些即将入驻车间的工人们,穿着崭新的蓝色工装,胸前别着厂徽,站得笔直。

陈光远往前站了一步。

他没有拿稿子,只是扫视了一遍全场。

“同志们。”

他的声音在空旷的厂区里显得格外清晰:“今,1965年4月7日,下午两点整。”

他顿了顿:“6305厂,超纯水系统联调成功,光刻机完成最终调平,涂胶显影机、刻蚀机、扩散炉全部安装就绪。”

“全厂一百零七套核心设备,二百六十八公里管线,全部贯通。”他的声音开始有些发颤:“从今起,1200名工人,正式入驻各车间、各系统。”

“从今起,6305厂,活了。”

没有人鼓掌,有人在悄悄用袖子擦眼睛,有人肩膀微微颤抖,有人仰着脸,望着厂房那排高高的竖窗,嘴唇紧抿着。

包康健教授摘下了眼镜,用拇指和食指用力捏了捏鼻梁。

吕辰想起三年前,第一次百工联席会议,他发现了四项技术,那些无人问津的技术,让他拼凑出了集成电路的构想。

那时候“星河计划”只是一个构想,大多数人,连集成电路是什么样都没见过。

现在,这座凝聚了无数人心血的工厂建成了。

吕辰的脑子里一遍遍过着那些画面。

……

第二一早,吕辰来到6305厂,就被李怀德的通讯员张叫住。

“吕工,李厂长请您去厂办一趟,丘书记和陈副厂长也在。”

吕辰知道是什么事,产线已经贯通,但有一件大事还没落地。

那些从全国各地来支援的专家们,怎么留?

三个月前,丘岩提出要按保密条例执行脱密程序,强行留人。

陈光远坚决反对,那是“过河拆桥”。

最后是吕辰提了个思路:不能强留,要让人自愿。

一个一个去谈,了解他们的困难,解决后顾之忧,给事业平台。

还要和原单位有个交代,不能杀鸡取卵。

当时李怀德定流子:这件事,6305厂自己办,吕辰不参与,免得刘星海教授难做。

三个月过去了,谈得怎么样了?

吕辰跟着张来到李怀德办公室,李怀德、丘岩、陈光远都在。

桌上放着一叠厚厚的文件。

“吕,坐。”李怀德指了指空椅子。

吕辰坐下,点了一支烟。

李怀德先开口,声音兴奋:“87个专家,谈了三个月。你猜,留下了多少?”

吕辰摇了摇头。

“四十二个。”李怀德把那叠文件推到吕辰面前,“这是名单。”

吕辰接过来,一页一页翻看。

长光所刘工——留任6305厂光刻车间主任。

半导体所刘高工——留任6305厂材料研发中心主任。

上海机床厂吴工——留任6305厂精密机械总工程师。

北大理论中心黄博士——留任6305厂设计中心顾问。

成电郑长枫老师——留任6305厂检测中心主任。

武水院……

四十二个名字,每一个他都认识。

都是并肩作战、一起熬过无数个不眠之夜的战友。

“这些人,”丘岩肯定道,“是6305厂的脊梁。”

陈光远接话道:“长光所刘工等人,以前就是我的兵,这次我留下五个,王先生给了巨大的支持,这些都是研发gca-201cgs的核心主力,他们不仅是光刻环节的核心,也承担着下一代光刻机的研发任务。”

他顿了顿:“其他人也都一样,各兄弟单位顾全大局,支持星河计划,支持6305厂,但同时这些专家也承担着下一代设备的研究任务。”

吕辰点点头:“这是合理的,研发和生产闭环,对星河计划最有利。”

李怀德笑道:“安排专家们的家庭,可是花了大功夫,衣食住孝上学上工,机三厂、棉纺厂、街道办、子弟学校、厂医院……,能用的关系我都用到了,算是能给你和刘星海教授一个交代了。”

吕辰笑道:“多谢李厂长,能给专家们安排妥当,我和老师也能和兄弟单位交代了。”

“宋教授刚刚把名单送过来。”陈光远从文件袋里又抽出一份名单,“红星所定向培养的350人,今正式到岗,全部进入设计中心。”

他把名单推给吕辰:“吕,红星所是6305厂的技术策源地,是整个星河计划的牵头单位,星河计划第一批2700万资金,红星所一分没拿,全部分给了半导所、真空所等薄弱单位。刘教授高瞻远瞩,不遗余力支持整个星河计划,大家都看在眼里。”

他顿了顿:“500饶种子队伍,已经从星河计划各单位培训结束。今全部集中在红星轧钢厂的模拟线车间,开始大会战。我们是这样想的,这五百人是刘教授去全国招来的,我们就以这个模拟线为基地,由6305厂和集成电路实验室厂校双聘,建立产学研基地,为星河计划输血,反补星河计划各协作单位。”

吕辰点点头:“这是好事,想必刘教授乐见其成。”

李怀德接过话:“这500人,是从全国二十一个省、盛自治区的协作单位培训回来的。他们在长光所学过光刻,在半导体所学过材料,在北大理论中心学过设计,在哈工大学过精密机械。”

他加重了语气:“模拟线的产出是人,不光能将分散的流程集中起来,也能让负责各环节的人更能明白上下游之间的联系,这是星河计划热的练兵地,各单位的人都可以在这里得到锻炼。”

“他们在这里能亲眼看见,一块硅片,是怎么变成芯片的。能亲手操作,每一个环节,每一个步骤,每一道工序。能把学到的碎片,拼成一张完整的图。”

李怀德接道:“这算是我们6305厂,给星河计划,给刘教授的支持。”

……

从厂办大楼出来,吕辰骑着自行车,往红星轧钢厂的方向走。

1200名工人,已经全部入驻。

他们正在熟悉环境,学习操作规程,一遍一遍演练。

再过几,第一片硅片,就要正式投入这条生产线。

吕辰在一号楼停下,站了很久。

他在6305厂的工作已经完成,系统集成专员的临时任命,随着产线的建成也走到了尽头。

下午两点,吕辰赶到红星轧钢厂。

来到模拟线车间,推开大门,一股熟悉的味道扑面而来。

机油、焊锡、松香、还有那种混合着金属和塑料的特殊气息。

车间里已经挤满了人。

穿着各种颜色工装的年轻人,三五成群,围在设备旁边。

有的在低声讨论,有的在本子上记着什么,有的蹲在设备前仔细打量着每一个部件。

谢凯站在车间中央的一个高台子上,手里拿着一个铁皮卷成的话筒,正在大声喊着什么。

“各组注意!各组注意!现在开始点名!”

“光刻组——!”

“到!”一片整齐的回应,至少有七八十人。

“扩散组——!”

“到!”

“刻蚀组——!”

“到!”

“薄膜组——!”

“到!”

“封装组——!”

“到!”

……

从全国各地培训回来的500人,今全部集中在这里。

他们要在这条模拟线上,用三个月时间,把芯片制造的全流程跑通。

然后进入6305厂,成为这座工厂的第一批核心骨干。

这帮年轻人,个个眼睛都放着光,恨不得现在就开机。

谢凯举起铁皮话筒:“全体注意!”

车间里瞬间安静下来。

“今,是模拟线大会战的第一。站在这里的500人,是从全国二十一个省、盛自治区,三十七家协作单位,培训回来的技术骨干。”

他的声音清晰地落进每个人耳朵里:“我们在长光所学过光刻,在半导体所学过材料,在北大理论中心学过设计,在哈工大学过精密机械。”

他顿了顿:“但是,我们学的是分散的。今,我们要做的,就是把这些碎片,拼成一张完整的图。”

“从今起,三个月时间,我们要在这条模拟线上,从头到尾跑一遍芯片制造的全流程。”

“从硅片清洗,到氧化扩散,到光刻对准,到刻蚀掺杂,到金属化,到封装测试——”

“每一个环节,都要亲手操作。每一道工序,你们都要亲眼看见。每一个可能出现的问题,你们都要亲身体会。”

他放下话筒,扫视全场:“三个月后,我们将走进6305厂,成为这座工厂的第一批核心骨干。”

“到那时候,你们要做的,不是按按钮,不是看仪表,是带着那些刚进厂的工人,手把手教他们,怎么造出咱们中国人自己的芯片。”

车间里一片寂静。

然后,不知道是谁第一个喊了出来:“保证完成任务!”

紧接着,第二个,第三个,越来越多。

喊声像潮水一样,一浪高过一浪,几乎要把车间的屋顶掀翻。

晚上般,模拟线正式开机,500人分成三班,开始有序地进入各自岗位。

光刻组围在光刻机旁边,心翼翼地把第一片硅片送进样片台。

扩散组守在扩散炉前,盯着仪表盘上的温度曲线。

刻蚀组一遍一遍调试着刻蚀机。

薄膜组在化学气相沉积设备前,记录着每一次沉积的厚度数据。

封装组围在工作台边,练习着最基础的引线键合。

一切都井然有序,充满希望。

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