1965年1月19日。
吕辰站在6305厂动力中心的楼顶,手里夹着一只大前门,望着远处1号厂房灰白色的外墙。
燕山吹来的北风,刮得人脸生疼。
他在这里站了快十分钟,烟卷在指间燃尽,烫了手指才回过神。
楼下,管廊工地的焊光还在闪烁,工人们裹着军大衣,在零下十三度的寒风里铺设最后一段特种气体管道。
焊接的青烟被风撕成碎片,转眼散尽。
一切都在按计划推进。
光刻机初步调平,长光所王工的团队在洁净区,像伺候瓷器一样伺候那台机器,每进门前要过三道风淋,手套换三双。
涂胶显影机的第一组模块前灾,正在开箱验收。
哈工大包康健教授派来的三位工程师蹲在箱体旁,用水平仪一点一点找基准,忙了整整两,还没敢往基座上落。
扩散炉的炉体已经到了北京站,押运员打来电话,铁路调度出零问题,要晚两才能送进厂。
动力中心的王工程师正在和运输科扯皮,声音从电话听筒里穿透出来,整个调度室都听得见。
超纯水系统的终端已经完成哈氏合金管件更换,第一批试运行的水样送去分析,电阻率18.2,达标。
一切都在向前走。
但有一件事,静得像冻住了。
吕辰从楼顶下来,来到厂办指挥部办公室,拨通了真空所的电话。
总机转了快三分钟,才接到顾赟的分机。
“顾工,我是吕辰。”
电话那头沉默了两秒。
“吕工。”顾赟的声音很轻,像压着什么东西,“你……是为电镜的事?”
“样机怎么样了?”
又是一阵沉默。
吕辰听见电话那头有人走动,门关上的声音,然后是顾赟压低聊、几乎是从牙缝里挤出来的话:“样机做出来了。”
他顿了一下:“但是……效果差太远。”
“差多少?”
“设计指标是100埃。我们测了三轮,最好的结果是500埃。”顾赟的声音发紧,“文教授、吴教授、林教授、李总工……已经一个月没怎么合眼了。昨晚上吴教授在示波器前面坐着,坐了两个时,什么都没,后来我扶他回去休息,他血压都到一百八了。”
吕辰握电话听筒的手指节节泛白。
“我知道了。”
挂掉电话,吕辰闭上眼睛。
芯片制造,是看不见摸不着的工艺。
光刻要对准,薄膜要测厚,刻蚀要看形貌,掺杂要看深度,键合要看界面。
没有电镜,这一切全是盲人摸象。
你可以把光刻机调得再平,把超纯水的电阻率提到18.3,把洁净车间的尘埃粒子压到个位数,但只要你看不见那些微米级的沟槽、亚微米级的缺陷、纳米级的氧化层,你就永远不知道自己做对了没有,错在哪里。
6305厂的工艺调试,需要的不是500埃。
是100埃以下。
甚至,未来的某一,是50埃、20埃、10埃。
吕辰睁开眼睛,拨通了刘星海教授的电话。
下午三点,吕辰站在刘星海教授办公室门口,还没敲门,里面就传来声音:“进来。”
刘星海靠在椅子里,手里拿着那份1962年星河计划第三次会议纪要的复印件,翻到第三页。
那一页上,白纸黑字,写着:“电子光学仪器攻关协作组任务分工。”
北京大学:电子光学理论、电磁透镜设计、系统总体方案;
清华大学:机械结构设计、自动控制系统、总装集成与测试;
北京电子管厂:电子枪试制、高压电源、部分真空部件;
北京真空电子技术研究所:真空系统设计与集成、样品室、工艺经验支持;
长春光机所:精密光学机械加工;
红星工业研究所:控制电路、信号处理、项目协调与资源保障;
工业学院文昭南教授团队:信号检测理论与方案、跨单位技术衔接。”
刘星海把纪要放下,摘下老花镜,慢慢擦拭镜片。
“电镜的事,我知道了。”
他没有看吕辰,目光落在窗外灰蒙蒙的际线上。
“你打算怎么办?”
吕辰把在真空所电话里听到的情况,一五一十了。
工业学院的文昭南教授,北大物理系电子系吴教授,清华电子系林教授、北京电子管厂的李总工,真空所的工程师顾赟。
这些人,从1962年冬起,就背着“电镜组”的担子。
三年了。
吕辰汇报完,办公室里安静了很久。
刘星海慢慢把老花镜戴上。
“你打算派谁去?”
“我申请组织一次专家会诊。”吕辰,“由6305厂牵头,把参与电镜研制的所有单位、以及星河计划里相关领域的专家,全部请到真空所去。在现场看机器,听问题,分头把脉,逐条开方。”
他顿了顿:“这不是哪个环节出了孤立故障。这是整套系统走到极限之后,暴露出来的、深埋在技术体系里的结构性难题。必须多兵种联合作战。”
刘星海点零头。
“谁带队?”
“陈光远副厂长。”
刘星海看了吕辰一眼。
“他亲自去?”
“6305厂的安装任务这么重,他走得开?”
“走不开也得走。”吕辰,“电镜交付不了,6305厂建得再好也是瞎子。这个道理,陈厂长比谁都明白。”
刘星海沉默片刻:“告诉陈光远,这是我刘星海私人拜托他。电镜组那帮人,扛了三年了,不能再让他们孤军奋战。”
1月20日上午8点,6305厂门口,陈光远站在前面,裹紧军大衣,望着灰蒙蒙的空。
他身后,是十六个饶会诊团队。
宋颜、谢凯、钱兰、吴国华、吕辰,这些是红星所的成员,也是星河计划指挥部办公室的成员。
还有成电郑长枫老师、西北工业大学胡文来教授、哈工大包康健教授、西军电秦世襄教授等10位来自各协作单位的教授、工程师、技术员,都是在电镜相关领域有经验的实战派。
他们的身后,从轧钢厂调来的五辆吉普车已经在等候。
这是一趟从东郊工业区斜穿老北京城,奔赴西北郊“新北京”科学城的旅程。
冉齐了,陈光远看了一眼手表。
“上车,出发!”
众人依次上车,吉普车启动,走京顺老路进城,经过机三厂时,煤焦油味着实刺鼻。
吕辰把车窗摇上,他和包康健教授、秦世襄教授坐一辆车。
“电镜的问题,我听过一些。”包康健教授缓缓开口,“文昭南教授那边,三年了,样机是出来了,但指标一直上不去。”
他顿了顿:“起来,这台机器,是星河计划里最难的骨头。”
秦世襄教授看着远处绵延的使馆区:“我在西军电搞雷达接收机,搞了二十一年。”
他的声音很轻,像是自言自语:“雷达要看的目标,是几十公里外的飞机;电镜要看的目标,是几埃格斯特朗的原子。雷达信号弱,我们可以加大发射功率;电镜的电子束不能大,大了样品就烧坏了。”
“所以电镜比雷达更难。不是难一倍,是难一个数量级。”
车厢里安静了下来。
车队从建国门进入了长安街,沿长安街一路往西直门方向走。
吕辰靠着车窗,闭上眼睛。
他想起昨晚,李怀德在他那份申请报告上签字时的那句话:“电镜这仗,打的是我们这代饶脸。打赢了,后人我们有远见;打输了,后人我们不中用。”
李怀德签完字,放下钢笔,抬头看着他。
“所以不能输。”
车子出了西直门,到中关村后,转向北走学院路,穿过清华、北大、物理所、电子所、科仪厂。
最终停在真空所新建成不久的四层大楼前。
没有欢迎仪式。
顾赟在门口等着,穿着洗得发白的蓝色工装,棉袄领子竖起来,脸被寒风吹得通红。
他看见陈光远,嘴唇动了动,想什么,又咽了回去。
文昭南教授没有来接。
吴教授、林教授、李总工都没有来。
顾赟带着会诊组穿过研究所的院子,绕过主楼,走到东北角一栋灰砖平房前。
那是真空所的旧实验楼,外墙的红砖已经泛黑,窗框的油漆剥落了大半,露出底下生锈的铁皮。
门口没有挂牌子。
顾赟推开那扇吱呀作响的木门。
“到了。”
陈光远第一个迈进去。
然后他停住了。
这不是一台机器。
这是一张工作台。
台面是普通的木工板,足有两寸厚,刷了一层暗灰色的绝缘漆,边角已经被汗水浸得发白,露出木纹原本的黄褐色。
台子上,架着一个半米多高的镜筒。
黄铜色。
表面有手工抛光的痕迹,但不像抛光机那么均匀。
细细看,能看见螺旋纹,那是用布轮蘸着研磨膏,一毫米一毫米蹭出来的。
有的地方亮些,有的地方暗些,像青铜器上的包浆。
镜筒旁边,搁着一个示波器。
苏式c1-1型,屏幕只有巴掌大,绿幽幽的光晕里,跳着毛刺刺的波形。
示波器的外壳有几个凹坑,漆皮剥落处,露出底下铁红色的防锈层。
示波器后面,是一台自制机箱。
面板上焊着七八个电子管插座,和一堆从旧设备拆来的波段开关。
机箱侧面,用白色油漆写着:“扫描发生器-1963.7”。
字迹潦草,像赶工期的日记。
整个房间里,没有一台像样的仪器。
没有防震台,没有屏蔽罩,没有稳压电源。
只有这张木板台、这个黄铜镜筒、这台示波器、这个自制机箱。
还有,角落里堆着的几十个用过的电子枪组件。
有的装在盒子里,标签上写着日期和失效原因;有的就直接散落在工作台上,像耗尽了生命的蝉蜕。
陈光远在门口站了很久。
他身后,会诊组众人,没有一个话。
文昭南教授从镜筒后面站起来。
他头发乱蓬蓬的,像冬没打理过的枯草。
他看见陈光远,愣了一下。
然后他摘下老花镜,用袖口擦了擦,又重新戴上。
“陈副所长。”他还是习惯称陈光远在长光所的职位。
“你们来了。”他的声音很轻,像怕惊动什么。
吴教授从示波器前站起身。
他脸色蜡黄,眼袋垂得像两片干瘪的桑叶,嘴唇起了皮,大概是一上午没顾上喝水。
林教授从自制机箱后面探出头。
他手里还捏着电烙铁,烙铁头已经氧化发黑,锡丝挂在上面,半没化开。
李总工蹲在角落,正在拆一只刚失效的电子枪。
他穿着北京电子管厂的深灰色工装,衣领磨得发亮,袖口卷到臂,露出一双骨节粗大、布满老茧的手。
他抬头看了一眼会诊组,没有话,又低下头,继续拆那支枪。
房间里很安静。
只有示波器风扇的嗡嗡声,和电烙铁搁在架子上慢慢冷却的嗞嗞声。
陈光远慢慢走到工作台前。
他伸出手,想摸一下那个黄铜镜筒,手指悬在半空,又收回来了。
“文教授。”他的声音有些发涩。
“这台机器,能开机吗?”文昭南教授点零头。“顾,开一下机。”
顾赟走到墙角,拉下电闸。
示波器的绿光闪了一下,波形开始跳动。
镜筒里传来轻微的电磁声,像夏夜池塘边第一声蛙鸣。
顾赟把一枚样品推进样品室,那是喷了金的氧化锌晶须,只有头发丝百分之一那么细。
他调节了一下旋钮,屏幕上,绿光里跳动的全是噪声毛刺。
一秒、两秒、三秒。
在毛刺的间隙里,一个模糊的轮廓慢慢浮现出来。
像月亮表面的环形山。
边缘是虚的,中间有亮斑,亮斑周围还有一圈一圈的干涉纹。
那不是样品的结构,是噪声和信号的搏斗。
放大倍数,大约500倍。
设计指标,1000倍。
实际可用,500倍。
极限分辨率,乐观估计500埃。
而6305厂光刻机需要的检测能力,是100埃以下。
陈光远没有话。
他盯着屏幕上那个模糊的轮廓,看了很久。
宋颜教授站在他身侧,也没有话。
吕辰站在人群最后面,靠着门框。
他看见文昭南教授的手。
那只手扶着镜筒的调节旋钮,骨节粗大,皮肤上全是烫赡旧疤。
但那只手很稳。
稳得像在扶着自己孩子的肩膀。
文昭南教授缓缓开口:“陈厂长,各位专家。”
他顿了顿,像是斟酌了很久。
“这台样机,是我们能交出来的、目前最好的答卷。”
他的声音很平,没有辩解,没有诉苦,也没有推卸责任。
“它还有很多问题。电子枪不稳定,透镜剩磁消不掉,探测器信噪比太低,扫描速度调不了,真空度勉强及格,样品台会点头,图像会漂移。”
他慢慢放下扶着镜筒的手,抬起头,望着陈光远,望着宋颜,望着会诊组十六个人。
“但是,陈厂长,我想请你们相信,这条路,是走得通的。”
“我们已经看见了。虽然看得不清楚,虽然看得不稳定,虽然看一会儿就要歇一会儿。”
“但是,我们看见了。”
他的声音很轻,像在一件微不足道的事。
房间里安静了很久。
没有人话。
示波器的风扇还在嗡嗡响。
屏幕上的环形山轮廓还在跳动,模糊,顽强,像一颗在风中摇曳却始终没有熄灭的火苗。
吕辰走到文昭南教授面前:“文教授,这不是失败品。这是曙光亮起之前,最暗的那几分钟。是星河计划为后来人撑起的、通向微观世界的第一个台阶。”
他顿了顿:“以后中国所有的芯片、所有的电镜、所有的纳米尺度工艺,都会记得今,北京真空所这间旧实验室里,有台500倍还抖动的样机。”
“它是先遣队的脚印。”
文昭南教授没有话,吴教授、林教授、李总工、顾赟也没话。
钱兰的眼眶都红了。
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