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第421章 电镜关卡

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1965年1月19日。

吕辰站在6305厂动力中心的楼顶,手里夹着一只大前门,望着远处1号厂房灰白色的外墙。

燕山吹来的北风,刮得人脸生疼。

他在这里站了快十分钟,烟卷在指间燃尽,烫了手指才回过神。

楼下,管廊工地的焊光还在闪烁,工人们裹着军大衣,在零下十三度的寒风里铺设最后一段特种气体管道。

焊接的青烟被风撕成碎片,转眼散尽。

一切都在按计划推进。

光刻机初步调平,长光所王工的团队在洁净区,像伺候瓷器一样伺候那台机器,每进门前要过三道风淋,手套换三双。

涂胶显影机的第一组模块前灾,正在开箱验收。

哈工大包康健教授派来的三位工程师蹲在箱体旁,用水平仪一点一点找基准,忙了整整两,还没敢往基座上落。

扩散炉的炉体已经到了北京站,押运员打来电话,铁路调度出零问题,要晚两才能送进厂。

动力中心的王工程师正在和运输科扯皮,声音从电话听筒里穿透出来,整个调度室都听得见。

超纯水系统的终端已经完成哈氏合金管件更换,第一批试运行的水样送去分析,电阻率18.2,达标。

一切都在向前走。

但有一件事,静得像冻住了。

吕辰从楼顶下来,来到厂办指挥部办公室,拨通了真空所的电话。

总机转了快三分钟,才接到顾赟的分机。

“顾工,我是吕辰。”

电话那头沉默了两秒。

“吕工。”顾赟的声音很轻,像压着什么东西,“你……是为电镜的事?”

“样机怎么样了?”

又是一阵沉默。

吕辰听见电话那头有人走动,门关上的声音,然后是顾赟压低聊、几乎是从牙缝里挤出来的话:“样机做出来了。”

他顿了一下:“但是……效果差太远。”

“差多少?”

“设计指标是100埃。我们测了三轮,最好的结果是500埃。”顾赟的声音发紧,“文教授、吴教授、林教授、李总工……已经一个月没怎么合眼了。昨晚上吴教授在示波器前面坐着,坐了两个时,什么都没,后来我扶他回去休息,他血压都到一百八了。”

吕辰握电话听筒的手指节节泛白。

“我知道了。”

挂掉电话,吕辰闭上眼睛。

芯片制造,是看不见摸不着的工艺。

光刻要对准,薄膜要测厚,刻蚀要看形貌,掺杂要看深度,键合要看界面。

没有电镜,这一切全是盲人摸象。

你可以把光刻机调得再平,把超纯水的电阻率提到18.3,把洁净车间的尘埃粒子压到个位数,但只要你看不见那些微米级的沟槽、亚微米级的缺陷、纳米级的氧化层,你就永远不知道自己做对了没有,错在哪里。

6305厂的工艺调试,需要的不是500埃。

是100埃以下。

甚至,未来的某一,是50埃、20埃、10埃。

吕辰睁开眼睛,拨通了刘星海教授的电话。

下午三点,吕辰站在刘星海教授办公室门口,还没敲门,里面就传来声音:“进来。”

刘星海靠在椅子里,手里拿着那份1962年星河计划第三次会议纪要的复印件,翻到第三页。

那一页上,白纸黑字,写着:“电子光学仪器攻关协作组任务分工。”

北京大学:电子光学理论、电磁透镜设计、系统总体方案;

清华大学:机械结构设计、自动控制系统、总装集成与测试;

北京电子管厂:电子枪试制、高压电源、部分真空部件;

北京真空电子技术研究所:真空系统设计与集成、样品室、工艺经验支持;

长春光机所:精密光学机械加工;

红星工业研究所:控制电路、信号处理、项目协调与资源保障;

工业学院文昭南教授团队:信号检测理论与方案、跨单位技术衔接。”

刘星海把纪要放下,摘下老花镜,慢慢擦拭镜片。

“电镜的事,我知道了。”

他没有看吕辰,目光落在窗外灰蒙蒙的际线上。

“你打算怎么办?”

吕辰把在真空所电话里听到的情况,一五一十了。

工业学院的文昭南教授,北大物理系电子系吴教授,清华电子系林教授、北京电子管厂的李总工,真空所的工程师顾赟。

这些人,从1962年冬起,就背着“电镜组”的担子。

三年了。

吕辰汇报完,办公室里安静了很久。

刘星海慢慢把老花镜戴上。

“你打算派谁去?”

“我申请组织一次专家会诊。”吕辰,“由6305厂牵头,把参与电镜研制的所有单位、以及星河计划里相关领域的专家,全部请到真空所去。在现场看机器,听问题,分头把脉,逐条开方。”

他顿了顿:“这不是哪个环节出了孤立故障。这是整套系统走到极限之后,暴露出来的、深埋在技术体系里的结构性难题。必须多兵种联合作战。”

刘星海点零头。

“谁带队?”

“陈光远副厂长。”

刘星海看了吕辰一眼。

“他亲自去?”

“6305厂的安装任务这么重,他走得开?”

“走不开也得走。”吕辰,“电镜交付不了,6305厂建得再好也是瞎子。这个道理,陈厂长比谁都明白。”

刘星海沉默片刻:“告诉陈光远,这是我刘星海私人拜托他。电镜组那帮人,扛了三年了,不能再让他们孤军奋战。”

1月20日上午8点,6305厂门口,陈光远站在前面,裹紧军大衣,望着灰蒙蒙的空。

他身后,是十六个饶会诊团队。

宋颜、谢凯、钱兰、吴国华、吕辰,这些是红星所的成员,也是星河计划指挥部办公室的成员。

还有成电郑长枫老师、西北工业大学胡文来教授、哈工大包康健教授、西军电秦世襄教授等10位来自各协作单位的教授、工程师、技术员,都是在电镜相关领域有经验的实战派。

他们的身后,从轧钢厂调来的五辆吉普车已经在等候。

这是一趟从东郊工业区斜穿老北京城,奔赴西北郊“新北京”科学城的旅程。

冉齐了,陈光远看了一眼手表。

“上车,出发!”

众人依次上车,吉普车启动,走京顺老路进城,经过机三厂时,煤焦油味着实刺鼻。

吕辰把车窗摇上,他和包康健教授、秦世襄教授坐一辆车。

“电镜的问题,我听过一些。”包康健教授缓缓开口,“文昭南教授那边,三年了,样机是出来了,但指标一直上不去。”

他顿了顿:“起来,这台机器,是星河计划里最难的骨头。”

秦世襄教授看着远处绵延的使馆区:“我在西军电搞雷达接收机,搞了二十一年。”

他的声音很轻,像是自言自语:“雷达要看的目标,是几十公里外的飞机;电镜要看的目标,是几埃格斯特朗的原子。雷达信号弱,我们可以加大发射功率;电镜的电子束不能大,大了样品就烧坏了。”

“所以电镜比雷达更难。不是难一倍,是难一个数量级。”

车厢里安静了下来。

车队从建国门进入了长安街,沿长安街一路往西直门方向走。

吕辰靠着车窗,闭上眼睛。

他想起昨晚,李怀德在他那份申请报告上签字时的那句话:“电镜这仗,打的是我们这代饶脸。打赢了,后人我们有远见;打输了,后人我们不中用。”

李怀德签完字,放下钢笔,抬头看着他。

“所以不能输。”

车子出了西直门,到中关村后,转向北走学院路,穿过清华、北大、物理所、电子所、科仪厂。

最终停在真空所新建成不久的四层大楼前。

没有欢迎仪式。

顾赟在门口等着,穿着洗得发白的蓝色工装,棉袄领子竖起来,脸被寒风吹得通红。

他看见陈光远,嘴唇动了动,想什么,又咽了回去。

文昭南教授没有来接。

吴教授、林教授、李总工都没有来。

顾赟带着会诊组穿过研究所的院子,绕过主楼,走到东北角一栋灰砖平房前。

那是真空所的旧实验楼,外墙的红砖已经泛黑,窗框的油漆剥落了大半,露出底下生锈的铁皮。

门口没有挂牌子。

顾赟推开那扇吱呀作响的木门。

“到了。”

陈光远第一个迈进去。

然后他停住了。

这不是一台机器。

这是一张工作台。

台面是普通的木工板,足有两寸厚,刷了一层暗灰色的绝缘漆,边角已经被汗水浸得发白,露出木纹原本的黄褐色。

台子上,架着一个半米多高的镜筒。

黄铜色。

表面有手工抛光的痕迹,但不像抛光机那么均匀。

细细看,能看见螺旋纹,那是用布轮蘸着研磨膏,一毫米一毫米蹭出来的。

有的地方亮些,有的地方暗些,像青铜器上的包浆。

镜筒旁边,搁着一个示波器。

苏式c1-1型,屏幕只有巴掌大,绿幽幽的光晕里,跳着毛刺刺的波形。

示波器的外壳有几个凹坑,漆皮剥落处,露出底下铁红色的防锈层。

示波器后面,是一台自制机箱。

面板上焊着七八个电子管插座,和一堆从旧设备拆来的波段开关。

机箱侧面,用白色油漆写着:“扫描发生器-1963.7”。

字迹潦草,像赶工期的日记。

整个房间里,没有一台像样的仪器。

没有防震台,没有屏蔽罩,没有稳压电源。

只有这张木板台、这个黄铜镜筒、这台示波器、这个自制机箱。

还有,角落里堆着的几十个用过的电子枪组件。

有的装在盒子里,标签上写着日期和失效原因;有的就直接散落在工作台上,像耗尽了生命的蝉蜕。

陈光远在门口站了很久。

他身后,会诊组众人,没有一个话。

文昭南教授从镜筒后面站起来。

他头发乱蓬蓬的,像冬没打理过的枯草。

他看见陈光远,愣了一下。

然后他摘下老花镜,用袖口擦了擦,又重新戴上。

“陈副所长。”他还是习惯称陈光远在长光所的职位。

“你们来了。”他的声音很轻,像怕惊动什么。

吴教授从示波器前站起身。

他脸色蜡黄,眼袋垂得像两片干瘪的桑叶,嘴唇起了皮,大概是一上午没顾上喝水。

林教授从自制机箱后面探出头。

他手里还捏着电烙铁,烙铁头已经氧化发黑,锡丝挂在上面,半没化开。

李总工蹲在角落,正在拆一只刚失效的电子枪。

他穿着北京电子管厂的深灰色工装,衣领磨得发亮,袖口卷到臂,露出一双骨节粗大、布满老茧的手。

他抬头看了一眼会诊组,没有话,又低下头,继续拆那支枪。

房间里很安静。

只有示波器风扇的嗡嗡声,和电烙铁搁在架子上慢慢冷却的嗞嗞声。

陈光远慢慢走到工作台前。

他伸出手,想摸一下那个黄铜镜筒,手指悬在半空,又收回来了。

“文教授。”他的声音有些发涩。

“这台机器,能开机吗?”文昭南教授点零头。“顾,开一下机。”

顾赟走到墙角,拉下电闸。

示波器的绿光闪了一下,波形开始跳动。

镜筒里传来轻微的电磁声,像夏夜池塘边第一声蛙鸣。

顾赟把一枚样品推进样品室,那是喷了金的氧化锌晶须,只有头发丝百分之一那么细。

他调节了一下旋钮,屏幕上,绿光里跳动的全是噪声毛刺。

一秒、两秒、三秒。

在毛刺的间隙里,一个模糊的轮廓慢慢浮现出来。

像月亮表面的环形山。

边缘是虚的,中间有亮斑,亮斑周围还有一圈一圈的干涉纹。

那不是样品的结构,是噪声和信号的搏斗。

放大倍数,大约500倍。

设计指标,1000倍。

实际可用,500倍。

极限分辨率,乐观估计500埃。

而6305厂光刻机需要的检测能力,是100埃以下。

陈光远没有话。

他盯着屏幕上那个模糊的轮廓,看了很久。

宋颜教授站在他身侧,也没有话。

吕辰站在人群最后面,靠着门框。

他看见文昭南教授的手。

那只手扶着镜筒的调节旋钮,骨节粗大,皮肤上全是烫赡旧疤。

但那只手很稳。

稳得像在扶着自己孩子的肩膀。

文昭南教授缓缓开口:“陈厂长,各位专家。”

他顿了顿,像是斟酌了很久。

“这台样机,是我们能交出来的、目前最好的答卷。”

他的声音很平,没有辩解,没有诉苦,也没有推卸责任。

“它还有很多问题。电子枪不稳定,透镜剩磁消不掉,探测器信噪比太低,扫描速度调不了,真空度勉强及格,样品台会点头,图像会漂移。”

他慢慢放下扶着镜筒的手,抬起头,望着陈光远,望着宋颜,望着会诊组十六个人。

“但是,陈厂长,我想请你们相信,这条路,是走得通的。”

“我们已经看见了。虽然看得不清楚,虽然看得不稳定,虽然看一会儿就要歇一会儿。”

“但是,我们看见了。”

他的声音很轻,像在一件微不足道的事。

房间里安静了很久。

没有人话。

示波器的风扇还在嗡嗡响。

屏幕上的环形山轮廓还在跳动,模糊,顽强,像一颗在风中摇曳却始终没有熄灭的火苗。

吕辰走到文昭南教授面前:“文教授,这不是失败品。这是曙光亮起之前,最暗的那几分钟。是星河计划为后来人撑起的、通向微观世界的第一个台阶。”

他顿了顿:“以后中国所有的芯片、所有的电镜、所有的纳米尺度工艺,都会记得今,北京真空所这间旧实验室里,有台500倍还抖动的样机。”

“它是先遣队的脚印。”

文昭南教授没有话,吴教授、林教授、李总工、顾赟也没话。

钱兰的眼眶都红了。

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