动员会结束，第二一早，红星所右翼楼后方，集成电路实验车间已是热火朝。
机器轰鸣、切割金属……\t，人声鼎罚
吕辰的办公室里，贴满了中试线的总平面图、各区域详图、管线综合图、进度甘特图，以及用不同颜色标注的“七虎攻坚作战图”。
桌上堆着厚厚的设备清单、技术协议、施工日志和问题跟踪表。
洁净环境系统的攻坚战率先打响。
南州大学岳伴教授和成电郑老师团队驻扎在现场，与梁先生手下的建筑工程师、红星所的暖通工程师组成了联合指挥部。
首要难题是高效过滤器的获取与自制。
航部门支援的石棉纤维滤纸到了，只有区区五十平方米，对于庞大的送风系统需求来，杯水车薪。
汤渺教授的材料团队压力巨大。
多孔陶瓷过滤器的研制取得了初步进展，他们以氧化铝和硅酸铝为基料，添加造孔剂，在特定温度下烧结，得到了孔隙率可达40%、平均孔径在1-5微米的多孔陶瓷片。
但如何将脆性的陶瓷片做成面积足够大、强度能承受风压、且密封良好的过滤器单元，是巨大的挑战。
“不能做成平板，强度不够，风阻也大。”吕辰盯着烧结出来的样片发愁。
“借鉴折皱式金属过滤器的结构呢？”岳伴教授拿起一张铝箔隔板，“把多孔陶瓷做成薄板，然后像折纸一样折叠起来，用耐高温的陶瓷粘合剂粘接边缘，形成一个陶瓷‘手风琴’。折叠结构既能增加面积，又能增强整体抗弯强度。”
“陶瓷薄板……我们现在的工艺，厚度低于3毫米就容易碎裂。”汤渺教授沉吟。
“试试流延成型。”岳伴教授提了一个建议，“把陶瓷粉料、粘结剂、塑化剂、溶剂混合成均匀的浆料，用刮刀在平整的基带上流延成薄层，干燥后形成柔韧的‘生瓷带’。我们可以把生瓷带像处理纸张一样折叠、切割，然后再进行烧结定型。这样或许能得到更薄、更均匀的陶瓷片。”
这个思路让材料团队眼前一亮。
立即调整实验方案，开始尝试流延工艺。
同时，对于无法等待陶瓷过滤器的区域，联合团队决定“土法上马”，采购中效无纺布过滤器作为前置，后面串联多层浸渍了特种胶液的超细玻璃纤维棉，自制“夹心饼干”式过滤器。
虽然效率达不到高效级别，阻力也大，但至少能大幅降低进入核心区域的尘埃浓度，为关键设备自带的“洁净岛”工作台减轻负担。
垂直层流工作台的设计和加工同步进校
不锈钢板焊接的箱体要求极高的密封性，所有焊缝必须打磨平整、做检漏测试。
风机选用低噪音的离心风机，但需要重新设计叶轮和蜗壳，以减少自身振动和湍流。
最关键的均流装置，开始尝试用多层不同目数的不锈钢丝网叠加，后来发现阻力不均，改为在出风口下方安装一种特制的“微孔泡沫铝”阻尼层。
这是从航材料渠道搞到的“宝贝”，孔隙均匀，既能有效均流，自身产尘极少。
梁先生的团队负责整个车间的压力梯度设计和施工。
他们用彩色的塑料条在墙上标出了不同洁净等级区域的边界，并精心计算和调整各区域的送风量和回风量比例。
为了维持正压，回风口的面积和位置经过反复模拟和现场烟雾测试。
车间大门改造成带互锁装置的双门气闸室，人员进入必须按规定路线更衣、风淋。
超纯水系统，在车间旁一个单独隔出的区域内紧锣密鼓地建设。
上海医工院的沈工程师成了这里的“大总管”。
电渗析堆是定制的型设备，电极板、离子交换膜、隔板的组装和密封要求极高，稍有泄漏，效率就会大打折扣。
安装调试阶段，经常出现水流不均、脱盐率波动的问题。
沈工带着工人一遍遍拆装，调整垫片厚度，测试不同流速下的性能。
离子交换柱的安装更是细致活。
南开大学提供的核子级树脂，像金沙一样珍贵。
填充时必须缓慢、均匀，防止产生气泡或分层。
再生用的电子级酸碱，由上海试剂总厂派专人押运而来，储存和使用都有严格的规程。
管道焊接是另一个难点。
不锈钢管的焊接必须采用氩弧焊，内部充氩气保护，防止焊口内壁氧化。
焊工需要经过专门培训，每个焊口完成后，都要进行内窥镜检查和水压、氦质谱检漏测试。
沈工拿着检漏仪，像猎犬一样在密密麻麻的管道间巡视，不放过任何一丝可疑的泄漏信号。
水质监测台搭建起来，国产电阻率仪、简易的颗粒计数装置、细菌培养皿摆放就位。
虽然简陋，但构成了最基本的水质监控网络。
特种气体系统，位于车间最外围一个单独建造的、带有厚重防爆墙的房子里。
这里的气氛最为肃杀。
核工业部的安工脸色永远像钢板一样冷硬。
他制定的安全规程细致到近乎苛刻，进入气瓶间必须两人同行，穿戴防静电服和护目镜；任何操作前必须进行气体泄漏预想和应急预案口头复述；工具必须使用防爆型；气瓶固定链的松紧程度都有规定……
航一院的流体工程师，对管道施工质量有着偏执的要求。
双套管系统的焊接全部采用自动轨道焊，焊前坡口加工精度、焊后x光探伤，一个环节都不能少。
他拿着放大镜和焊缝检验尺，一寸寸地检查，不合格的焊缝立即割掉重焊。
气体泄漏探测器的安装和调试花了大量时间。
催化燃烧式探测器对氢气、硅烷敏感，但对磷烷、砷烷效果不佳；电化学式探测器精度高，但寿命短，容易中毒。
最终采用了组合方案，关键点位安装双探测器，信号引入中试线中央控制室，并设置了声光报警和自动切断阀联动逻辑。
微振动与热变形控制，是一场静默的战争。
哈工大包教授带头做理论计算，制定隔振方案，但现场实施起来困难重重。
在光刻机预定位置开挖基础坑时，发现地下有老旧的管线，不得不重新调整位置。
浇筑独立惯性基础时，对混凝土的配比、浇筑速度、养护条件都有严格要求，以确保基础内部密实、无裂缝。
特制的钢丝绳隔振器和空气弹簧组合隔振平台，由机床研究所和红星所机械加工车间联合试制。
第一批样品的阻尼特性不理想，在模拟振动台上测试时，共振峰值过高。
包教授连夜调整参数，重新设计内部结构，第二批样品才基本满足要求。
热补偿管道的安装考验的是细心和经验。
连接扩散炉的冷却水管、工艺气管，全部换成了不锈钢波纹管。
安装时，必须根据设备冷热态的位移量，精确计算波纹管的预拉伸或预压缩量，并设置好导向支架，防止管道扭曲或承受额外应力。
老师傅们拿着尺子和水平仪，反复测量调整，嘴里念叨着：“热胀冷缩，差之毫厘，谬以千里。”
为了治理“脏”电，广播局和武水院的团队使出了浑身解数。
“工业级精密电源柜”的研制并不顺利。
宽范围输入的交流稳压器，在负载突变时响应速度不够快，导致输出电压有毛刺。
飞轮储能装置的型化是个难题，高速旋转下的动平衡和轴承寿命需要反复测试。
老周师傅贡献了广播设备的“稳压稳流”电路经验，结合武水院的电力电子技术，对电路进行了一次次修改调试。
第一个原型柜做出来，体积有半个衣柜大，噪音像台型发电机，但测试显示，它确实能在市电瞬间跌落20%的情况下，维持输出稳定50毫秒以上。
“先解决有无问题，再解决好坏问题！”老周师傅抹了把汗，对略显失望的年轻人，“这大家伙，先给光刻机用上。其他的关键设备，咱们再做一点的、安静一点的改进型。”
整个中试线区域的供电改造同步进校
重新铺设了独立的供电电缆，尽量远离大功率负荷。
接地系统重新设计，采用了网状接地结构，降低接地电阻，确保所有设备有一个干净、稳定的地电位参考。
材料界面问题，虽然设备还没到场，但故障中心也在积极准备。
他们在中试线规划中专门设置了一个“故障分析样品制备间”和一个“数据记录中心”。
任何工艺异常产生的硅片，都必须按照规范进行标识、包装、记录异常现象和工艺条件，然后送往“样品制备间”，由专人进行非破坏性的初步检查，并切片、制作后续分析的样品。
同时，所有相关的设备运行数据、环境参数、操作记录，都必须誊抄或复制一份，存入“数据记录中心”归档。
这些，都将作为送往上海进行分析的“病历”附件。
知识转型，贯穿于整个建设过程，润物无声，却也阻力重重。
吕辰牵头，组织各区域负责人和骨干操作员，开始编写《中试线标准操作规程（草案）》。
从更衣风淋流程，到光刻机开机自检步骤；从扩散炉工艺配方设置，到四探针测试仪校准方法；甚至包括如何正确填写设备运行日志、如何报告异常、如何进行交接班……事无巨细，都要求形成文字。
“吕工，这记录表是不是太细了？每时记录一次温度、压力、流量……我们光顾着填表了，还怎么盯工艺？”一位年轻技术员也面露难色。
吕辰召集了一次全体会议，就在尚未完工的车间里，大家坐在临时搬来的条凳上。
“我知道，大家觉得这些规程、记录繁琐，束缚手脚。”吕辰开门见山，“但是，中试线用的，是真正的、昂贵的高纯硅片，是老师们呕心沥血研制出来的光刻胶、特种气体。我们每一步操作的成本，都比模拟线高十倍、百倍。我们犯错的代价，不仅仅是时间和金钱，更是‘星河计划’前进的节奏，是国家对我们这支队伍的信任。”
“这些规程和记录，不是用来捆住大家手脚的绳子，而是保护大家、保护设备、保护我们共同成果的‘护身符’和‘导航图’。”吕辰语气诚恳，“它们把老师傅们宝贵的经验，变成可学习、可复制、可检查的明确动作；它们让我们在出现问题的时候，能像侦探一样，顺着记录的线索，快速找到原因，而不是靠猜测和争吵；它们更是未来6305厂成千上万名工人必须遵守的‘法律’蓝本。我们现在多写一个字，多定一条规矩，将来就可能为6305厂避免一次重大事故，节省百万经费。”
“更重要的是，”吕辰拿起一张空白的设备点检表，“这些表格，不是在为难大家，而是在帮助我们建立一种新的工作方式，一种靠数据、靠流程、靠协作，而不是单靠个人经验和运气的工作方式。这很难，就像让习惯了大刀长矛的军队，去适应现代火器的操典。但这是我们想要建成世界一流工厂，必须跨越的一道坎。”
会场安静下来，大家低头沉思，眼中也多了几分理解。
“从今起，我，还有各区域的负责人，带头严格执行这些草案。”吕辰宣布，“我们一起做，一起改，把不合理的地方改掉，把遗漏的地方补上。我们的目标，是到中试线正式运行时，拿出一套经过我们自己实践检验、确实好用、能保安全的《中试线运行管理全典》！”
这次会议后，抵触情绪虽然仍有，但配合度明显提高。
大家开始认真对待规程编写和记录表格设计，提出了许多结合实际操作的建议。
一种新的、注重规范和数据的文化，在这片喧嚣的工地上，开始悄然萌芽。
中试线的建设在艰难中起步，稳步推进。
随着时间的推进，设备开始陆续进场、就位、安装。
长光所的光刻机，在一台特制的防振平台上心翼翼地安放。
工程师们花了整整一周时间，用自制的准直仪和水平仪，反复调整平台水平和光路准直。
半导体所送来的第一批6N高纯硅片，被如同对待易碎艺术品一样，存放在专用的超净保管柜郑
上海感光厂的第一批光刻胶样品和试验性“胶片掩模”送到，立即在临时搭建的超净涂胶台上进行测试。
真空所的cVd和pVd设备，与自制的气体管路、控制系统进行对接联调。
510所的离子注入原理样机，这个“娇贵又暴躁”的大家伙，被安置在专门加固和屏蔽的房间内，它的高压电源、真空系统、控制系统故障频发，负责的工程师几乎住在了机器旁边。
时间飞快，转眼就到了年关底下。
旧车间一改变着模样。
杂乱和破旧被秩序和洁净取代。
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