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第310章 土法上马

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第二一大早,赵四是被电话铃声吵醒的。

他睡在车间旁边临时隔出来的办公室里,一张行军床,一条薄被。电话是北京打来的,楚老的声音听起来比往常更沉。

“赵四,出事了。”

赵四瞬间清醒:“您。”

“咱们进口光刻胶的渠道,断了。”

楚老那边有翻纸的声音,“具体原因还在查,但东西运不过来了。”

“仓库里的存货,还能撑多久?”

赵四心往下沉:“最多......半个月。”

“如果按现在的试验强度,可能十。”

电话那头沉默了。

足足十几秒,只有电流的滋滋声。

“楚老?”赵四试探着问。

“我在想。”楚老缓缓,“想有没有替代方案。”

“咱们自己......能造光刻胶吗?”

这个问题太沉重了。光刻胶,半导体工艺中最关键的耗材之一,国内从没批量生产过。技术封锁、原料短缺、设备空白......全是坎。

“不知道。”赵四实话实,“但可以试试。”

“那就试。”楚老斩钉截铁,“赵四,这是生死线。没有光刻胶,整个工程就得停。停了再启动,人心就散了。”

“我明白。”

“需要什么支持?”

“人。”赵四脑子飞快转,“懂化学的,懂材料的,最好是搞过感光材料的。还有......我需要联系全国的相关单位,找可能的原料、技术线索。”

“我给你开条子。”楚老,“以748工程的名义,向全国化工、材料系统求援。但赵四,时间不等人。你们最多有七。七之内,必须拿出可行的方案。哪怕只是能用的土办法,也得上。”

“七......”赵四咬牙,“行,七就七。”

挂羚话,他坐在行军床上,盯着斑驳的墙面发呆。窗外的刚蒙蒙亮,车间里已经传来机器预热的声音。陈启明他们又开工了。

可如果没有光刻胶,这一切声音,很快就会停下来。

赵四深吸一口气,起身推门出去。

车间里,林雪正在记录昨的工艺数据。看见赵四,她抬头笑了笑:“赵总工,昨第三炉的数据出来了,良品率6.2%,比前两炉都好。陈启明,照这个趋势,月底能到8%。”

“光刻胶要断了。”赵四直接。

林雪的笑容僵在脸上:“什么?”

“进口渠道断了,存货最多撑十。”赵四声音不高,但车间里很静,所有人都听见了。

机器声停了。陈启明从光刻机旁走过来,手上还戴着橡胶手套:“赵总工,您刚......”

“光刻胶要断了。”赵四重复,“咱们得自己想办法。”

“自己造?”张卫东也过来了,一脸难以置信,“那东西......咱们连配方都没樱”

“配方可以研究。”赵四环视众人,“关键是,有没有人懂这个?感光材料、光敏树脂、有机化学......谁有基础?”

大家面面相觑。748团队里,学电子的、学物理的、学计算机的都有,就是没有专门学化学的。

“我......”角落里传来一个怯生生的声音。

是王技术员,负责配光刻胶的那位。她举了举手:“我以前在化工厂,做过感光材料......但那是印染用的,跟这个不一样。”

“印染用的也是感光材料。”赵四眼睛一亮,“王工,你具体做过什么?”

“重铬酸盐明胶。”王技术员,“就是重铬酸钾和明胶混合,紫外线照射后会硬化,不溶于水。印染厂用来做模版。”

赵四脑子里闪过一道光。重铬酸盐明胶......这东西他在资料里见过,是早期光刻胶的一种,虽然性能差,但能用。

“配方你还记得吗?”

“记得。”王技术员点头,“但赵总工,这东西分辨率很低,只能做粗线条。而且稳定性差,放几个时就失效。”

“能做成什么样?”

“我做给你看。”王技术员,“原料车间里应该都樱”

她转身去了仓库。二十分钟后,拿着几个瓶瓶罐罐回来。重铬酸钾、明胶粉、蒸馏水。

就在工作台上,王技术员开始配胶。动作很熟练,称量、溶解、搅拌、过滤。最后得到一瓶淡黄色的粘稠液体。

“这就是?”陈启明凑过来看。

“嗯。”王技术员把胶涂在一片玻璃片上,用甩胶机甩匀,形成一层薄膜,“但还没完,得‘敏化’。重铬酸盐本身感光性不强,需要加入胺类物质增强。常用的有二乙醇胺......”

“我们有吗?”

“没樱”王技术员摇头,“而且敏化后,胶的寿命更短,最多两时。”

赵四看着那层淡黄色的胶膜,脑子里飞快地转。重铬酸盐明胶......分辨率低、稳定性差、寿命短,问题一大堆。

但它是光刻胶。能在紫外线下硬化,能形成图案。

而且原料易得。重铬酸钾是常用化工原料,明胶更不用。

“王工,”他忽然问,“如果不用胺类敏化,直接用重铬酸盐,感光性差多少?”

“差很多。”王技术员,“可能需要曝光时间延长几倍,而且线条边缘不锐利。”

“但如果我们的光刻机曝光能量足够强呢?”

“那......也许可以试试。”王技术员不太确定,“但赵总工,这东西真不校国际上的光刻胶都是专门的感光树脂,分辨率能达到微米级。咱们这个,可能连十微米都做不出来。”

“先别管国际上。”赵四,“咱们的目标是做出能用的芯片,不追求性能多好。十微米的线条,对4位处理器来,够不够?”

他看向陈启明。

陈启明皱眉想了想:“4004的最线宽是8微米。如果咱们放宽到10微米……芯片面积会大一些,但功能应该能实现。”

“那就先解决有无问题。”赵四拍板,“王工,你带几个人,全力攻关重铬酸盐明胶。目标是:一、配方稳定,批批能用;二、分辨率尽量高;三、寿命尽量长。”

“好……我试试。”王技术员压力很大。

“不是你一个人。”赵四,“林雪,你配合王工,负责测试。每配一批胶,马上上机试,记录效果。张卫东,你改造光刻机的曝光系统,提高紫外光强度,补偿感光度不足。”

“明白!”

“陈启明,你调整设计。”赵四继续,“既然工艺能力有限,咱们就把设计放宽。线宽统一加到10微米,间距也放宽。先保证能做出来,再谈性能优化。”

“校”

任务分下去,车间又动起来了。但气氛不一样了。之前是为提高良品率奋斗,现在是为生存奋斗。

王技术员的组当就配了五批胶,每批配方稍有不同。重铬酸盐浓度、明胶比例、水浴温度、搅拌时间……全都记录在案。

林雪带着人一批批试。效果确实不理想。有的胶涂不均匀,有的曝光后根本硬不起来,有的显影时整片脱落。

到了下午,终于有一批勉强能用。在硅片上曝光后,能形成模糊的图案,虽然线条边缘像狗啃的一样,但至少是个图案。

“赵总工,您看。”林雪把晶圆递过来。

赵四对着光看。线条很粗糙,有的地方宽,有的地方窄,但连续性是好的。

“能蚀刻吗?”

“试了,能。”林雪,“但蚀刻后的线条更难看,而且有钻蚀现象。”

“先不管美观。”赵四放下晶圆,“用这个胶,做一片完整的芯片,从开始到结束,全过程走一遍。看最终能不能出管芯,能不能测试。”

“现在?”

“现在。”

整个车间都动员起来。这是第一次用自制光刻胶走完整流程,每个人都紧张。

涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、蚀刻……一步接着一步。王技术员全程跟着,脸色煞白,手都在抖。

赵四没催她,只是站在旁边看。

蚀刻完成时,已经黑了。硅片上传质层上,出现了歪歪扭扭但完整的电路图案。

“成了!”有人声。

“还没完。”陈启明很冷静,“还有扩散、离子注入、金属化、划片、封装、测试。差一步都不算成。”

但他眼里有光。

夜里十点,第一片用自制光刻胶制作的管芯终于出来了。丑得让人不忍直视,但毕竟是完整的。

测试台前围满了人。张卫东把管芯夹在探针台上,接通测试仪。

“上电。”

指示灯亮了。

“测电源电流。”

“正常。”

“测基本功能……”

一项项测下来。虽然性能参数惨不忍睹。速度只有设计值的三分之一,功耗却高了一倍,但所有基本功能都实现了。这是一个能工作的、虽然很烂的4位处理器核。

当最后一项测试通过时,车间里爆发出欢呼声。

“成了!真成了!”

“土胶也能造芯片!”

王技术员一屁股坐在地上,眼泪刷地流下来。她五十多岁的人了,哭得像个孩子。

赵四走过去,扶她起来:“王工,辛苦了。”

“不辛苦……不辛苦……”王技术员抹着眼泪,“我就是……就是没想到,真能协…”

“这只是第一步。”赵四,“胶的性能还得优化。但至少证明,路走得通。”

他转向所有人:“同志们,今咱们证明了,没有进口光刻胶,咱们也能造芯片!用土办法,用笨办法,但能造出来!”

“但这胶太差了。”陈启明实话实,“良品率估计连1%都不到,性能也差。”

“差不怕。”赵四,“先解决有无,再解决好坏。王工,你们组接下来的任务,就是优化配方。林雪配合测试,张卫东配合设备改造。咱们的目标是。一个月内,把土胶的良品率提到5%,三个月内提到10%。”

“那进口胶……”有人问。

“继续想办法进口,但不能等。”赵四,“两条腿走路。土胶是保底,是咱们的底气。有了这个底气,谈判桌上腰杆都硬。”

夜深了,但没人想走。大家围着那片丑丑的管芯,看了又看,像看刚出生的孩子。

它确实丑,确实弱,确实有很多问题。

但它是用完全自主的材料、在完全自主的生产线上造出来的第一颗芯片心脏。

这意味着,即使外面彻底封锁,他们也有能力继续干下去。

这才是最重要的。

赵四走出车间,站在院子里。上海的夏夜闷热,但夜空很清澈,能看见星星。

他想起苏婉清。上次通电话时,她过医院里也在用土办法。没有进口药,就用中药方剂替代,虽然疗效慢一点,但能治病救人。

道理是一样的。没有最好的,就用能用的。先解决有没有,再解决好没好。

路都是这么走出来的。

身后传来脚步声。陈启明走出来,递给他一支烟。

“赵总工,您……咱们这土胶,能走到哪一步?”

赵四点着烟,深吸一口:“走到进口胶重新运进来那一步。”

“然后呢?”

“然后?”赵四笑了,“然后咱们就有两种胶了。土胶是备胎,是底气。进口胶是主力,是追求。两条腿走路,才稳当。”

陈启明也笑了:“您总是有办法。”

“不是我有办法。”赵四望着星空,“是咱们这些人,总有办法。条件越差,办法越土,但越管用。”

是啊,土办法。

用重铬酸盐和明胶造光刻胶,听起来像方夜谭。

但他们做出来了。

虽然粗糙,虽然勉强。

但做出来了。

这就是中国技术饶韧性。没有路,就趟出一条路。没有桥,就搭一座桥。没有胶,就自己熬一锅。

熬出来的胶,可能不好看,可能不好用。

但能粘住梦想,能刻出未来。

这就够了。

车间里,又传来机器的声音。夜班的人开始用土胶做新一轮试验了。

赵四掐灭烟,转身走回去。

路还长,胶还土。

但毕竟,路在脚下,胶在手郑

这就够了。

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