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第242章 齐鲁微电子中心

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早上般十五分,一辆黑色奥迪驶入济南高新技术产业开发区齐鲁软件园。车在园内一栋新建的五层灰白色建筑前停下。楼体方正,窗户宽大,楼顶立着几个白色的通信线。楼门口挂着两块牌子:左边是“齐鲁微电子研究中心”,右边是“星火科技集成电路设计中心”。

凌云推开车门,一月的济南冷风扑面而来。他裹紧黑色羽绒服,抬头看了看这座新楼。

赵虎从驾驶座下来,手里拎着一个黑色公文包。

“凌总,直接进去?”赵虎问。

“嗯。”凌云点头。

两人走进大楼。一楼大厅空旷,水磨石地面刚打过蜡,光可鉴人。前台空着,墙上挂着项目介绍展板,但还没装玻璃罩。展板上的字是打印贴上去的,有些边角已经翘起。

一个穿着蓝色工装、约莫二十五六岁的年轻人正蹲在墙角调试一台网络交换机,听见脚步声,转头看过来。

“你们找谁?”年轻人站起来,手上还拿着把螺丝刀。

“找倪光南倪总。”凌云。

年轻人上下打量了一下凌云,又看看赵虎:“有预约吗?倪总在四楼开会。”

“有预约。我姓凌。”

年轻人眼睛一亮:“凌总?倪总交代过。您稍等,我打个电话。”他快步走到前台,拿起座机拨了个号码。

等待时,凌云走到展板前。展板标题是“集成电路产业链示意图”,画着从硅材料到封装测试的流程图,每个环节用方框标出,箭头连接。方框里有些打了红勾,有些是黄圈,有些空白。

“这图谁做的?”凌云问。

“我做的。”年轻人挂掉电话,走过来,“倪总让做的,要让大家清楚我们在整个链条里的位置。红勾是中心已经有研究方向的,黄圈是正在调研的,空白是暂时没涉及的。”

凌云仔细看。打红勾的有:芯片设计(前端)、逻辑仿真、测试向量生成。黄圈的有:版图设计(后端)、工艺模拟。空白的是:硅材料、晶圆制备、光刻系统、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗检测、封装测试、EdA工具——几乎整个制造端都是空白。

“空白这么多。”凌云。

“是啊。”年轻人挠挠头,“倪总,设计我们能做,但制造……差距太大了。光刻机国内最好的还是上海那台0.8微米的,进口的能到0.35,但人家不卖给我们。”

楼梯间传来急促的脚步声,倪光南从二楼走下来,没穿外套,灰色毛衣袖子挽到手肘,手里拿着个笔记本。

“凌总!到了怎么不直接上来?”倪光南脸上带着笑,但眼袋很深,头发又白了不少。

“刚进来,看看你们设计的展板。”凌云和他握手,倪光南的手干燥,有老茧。

“张,去给凌总倒杯茶。”倪光南对年轻人,然后转向凌云,“走,先上楼,我带你看看。”

电梯还没启用,他们走楼梯。楼梯间墙皮有些地方没刷匀,露出水泥底色。

“楼是开发区特批的,免租金。”倪光南边走边,“我们去年十一月搬进来,设备陆续到货。现在一到三楼是办公和实验室,四楼会议室和图书馆,五楼是洁净室在建。”

“人员呢?”凌云问。

“七十三人。”倪光南如数家珍,“设计组三十二人,工艺组十八人,测试组十二人,软件工具组八人,行政后勤三人。设计组里,有十二个是我从计算所、电子部几个老单位挖来的,经验丰富。剩下的都是这两年毕业的硕士博士,年轻人有冲劲。”

二楼是开放办公区。七八排工位,坐满了人。电脑都是星火品牌电脑,显示器是球面的cRt。工位隔板上贴满了图纸、便签,有些挂着国家地图、世界地图,上面用红笔圈出几个地方:美国硅谷、台湾新竹、日本筑波。

空气中弥漫着咖啡、泡面和焊锡的味道。

倪光南拍了拍手:“大家停一下,介绍个人。”

敲键盘的声音停下来,人们抬起头。

“这位是凌云凌总,星火科技的创始人,也是我们中心的出资方和战略指导。”倪光南提高音量,“凌总今来看大家。”

稀稀拉拉的掌声。大多数人眼神里带着好奇,有些年轻员工露出兴奋的表情,交头接耳。

“你们忙你们的,我就是来看看。”凌云摆摆手,“倪总,咱们继续。”

倪光南领着他穿过办公区,走到里面一排用玻璃隔断围起来的实验室。第一个实验室门上贴着“逻辑设计验证”。

推门进去,里面六个人围着一台工作站。工作站屏幕上显示着复杂的电路图,彩色线条交错。

“这是1微米工艺的cpU原型设计验证。”倪光南指着屏幕,“指令集我们自己定义的,精简,但够用。目标是做嵌入式控制芯片,比如智能电表、工业控制器。”

一个戴眼镜、头发花白的中年男人站起来:“倪工。”

“老李,给凌总讲讲进展。”

老李推了推眼镜,走到白板前,拿起笔:“凌总,我们现在的设计是基于正向流程,从架构到寄存器传输级代码,再到逻辑综合。目前已经完成算术逻辑单元和控制单元的设计,正在做时序验证。主要瓶颈是EdA工具——我们用的Synopsys是教育版,功能有限,而且版本是两年前的。”

“盗版?”凌云问。

“嗯……”老李有点尴尬,“正版太贵,一套要几十万美元。我们用学校的许可证。”

“能用吗?”

“基本功能可以,但仿真速度慢,而且不能做先进工艺的物理设计。”老李,“版图设计我们现在还是手工居多,自动化程度低。”

凌云点点头,没话。

下一个实验室是“工艺模拟”。里面有几台设备,一台箱式炉,一台溅射台,还有一台显微镜。

一个年轻女工程师正在显微镜下观察一片硅片。硅片只有指甲盖大,表面有细微的图案。

“周,给凌总看看。”倪光南。

周抬起头,脸有点红:“凌总好。”她把硅片从显微镜下取出来,心地放在一个塑料托盘里,递给凌云。

硅片在灯光下泛着金属光泽,表面有规律的线条,线条边缘有些毛刺。

“这是我们在实验室条件下做的0.5微米线宽测试图形。”周解释,“用的还是紫外接触式光刻,掩模版是自己用激光直写的。线宽不均匀,但能看出图形。”

“成品率多少?”凌云问。

“很低……不到5%。”周声音了,“主要是光刻对准精度不够,还有胶的均匀性问题。我们用的光刻胶是国产的,性能不稳定。”

“设备呢?”

“光刻机是上海光学仪器厂的老型号,改装的。刻蚀用反应离子刻蚀台,是二手的,从韩国买来的淘汰设备。”周顿了顿,“倪总,等五楼的洁净室建好,搬进去再试试。”

凌云把硅片放回托盘:“辛苦了。”

周用力点头。

三楼是测试区。几台示波器、逻辑分析仪、探针台。一个年轻工程师正用探针扎在一片封装好的芯片上,示波器屏幕上跳动着波形。

“这是测试组。”倪光南,“我们设计的芯片流片回来,要在这里做功能和性能测试。现在……还没流片过。”

“为什么?”凌云问。

“流片费用太高。”倪光南苦笑,“哪怕找台湾的厂,用0.8微米工艺流一次,也要十几万美元。我们没那么多钱,而且设计没完全成熟,不敢流。”

“自己不能做吗?”

“不能。”倪光南摇头,“光刻、刻蚀、离子注入……这些工艺设备,我们一台都没樱国内也没有能代工0.8微米以下工艺的产线。上海华虹刚建,用的是日本的技术和设备,还没量产。”

“明白了。”凌云。

参观完,倪光南带凌云上四楼。楼梯间墙上贴着标语:“自力更生,艰苦奋斗”、“造出中国芯”。

四楼会议室很大,能坐五十人。墙上挂着投影幕布,长桌上散落着图纸、数据手册、英文技术论文的复印件。

倪光南给凌云倒了杯茶,茶是茉莉花茶,香气扑鼻。

“坐,凌总。”倪光南拉把椅子坐下,掏出笔记本,“我先简单汇报一下整体情况。”

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