2016年3月，京城。
早春的寒意尚未完全褪去，西山脚下的某座幽静宾馆内，气氛却显得格外凝重。这里没有挂任何横幅，门口的安保级别却高得惊人，荷枪实弹的武警笔直地伫立在哨位上。
会议室里，烟雾缭绕。
几十位头发花白的老者围坐在椭圆形的会议桌旁，他们中的每一位，都是国内半导体领域的泰斗级人物。院士、总师、国家重点实验室的负责人……随便一位走出去，都是能让学术界震动的人物。
坐在主位上的，是来自工信部和科技部的几位主要领导。
林星石坐在靠前的位置，面前放着一杯只有茶叶沉底的清茶。
作为星火科技的掌舵人，同时也是在中芯国际主导攻克22nm工艺的核心人物，他是今会场里最年轻的面孔，但没人敢轻视他的分量。
“同志们，把大家叫到这里来，是要交底的。”
主持会议的张副部长敲了敲桌子，声音沉稳有力，却透着一股不容忽视的紧迫感，“国际形势早变了。大洋彼岸虽然还没正式出手，但针对我们高科技产业的围堵意图已经十分明显。”
会议室里安静得连一根针掉在地上都能听见。
“去年，我们在中芯国际取得了22nm工艺的突破，这是大喜事，林院士功不可没。”张副部长的目光在林星石身上停留了片刻，随即话锋一转，“但是，我们22nm的生产线，除了那几台刻蚀机是我们自己的中微半导体提供的，其他的核心设备，尤其是光刻机，全是买来的。”
“ASmL虽然现在还卖给我们，但如果明他们不卖了呢？如果他们连零配件都不供应了呢？”
张副部长的问题，像一记重锤，敲在每个饶心头。
“这就是‘卡脖子’。”张副部长沉声道，“被人掐着喉咙过日子，这口气，我们还要忍多久？”
会场的气氛瞬间压抑到了极点。
一位来自沪市微电子的老专家叹了口气，摘下眼镜擦了擦：“张部，不是我们不想争气。光刻机这东西，被誉为‘工业皇冠上的明珠’，它不是单纯的某一项技术，它是光学、流体力学、精密机械、自动化控制等几十个学科的顶尖集合体。”
“就拿光源来。”老专家指了指投影幕布上的结构图，“ASmL用的EUV光源，那是几十万瓦的激光功率轰击锡滴，每秒钟几万次，还要保证能量稳定输出。我们现在的技术储备，连个零头都不到。还有双工件台，两个台子在高速运动中要保持纳米级的同步精度，这在机械加工上简直就是神话。”
另一位来自长春光机所的院士也接过话茬：“物镜系统也是大问题。几十片镜片，面型精度要求是皮米级，稍微有一点热变形，光路就歪了。我们现在能磨出来，但装配调试的难度太大，良品率低得吓人。”
专家们你一言我一语，回顾着国内半导体设备的发展历程。
从早期的“102”工程，到后来的“02专项”，国家投入了海量的资金和人力。虽然在刻蚀机、薄膜沉积设备上取得了不错的成绩，但在光刻机这个最核心的堡垒面前，始终难以形成突破性的战斗力。
坦诚，但也沉重。
大家都在分析差距，寻找原因，但越分析，越觉得那道鸿沟深不可测。这就好比人家已经开着法拉利在赛道上狂飙，我们还在研究怎么把自行车的链条挂稳。
“林院士。”
张副部长忽然点了林星石的名，“你在中芯国际待了三个月，在一线摸爬滚打，把22nm做出来了。从用户的角度，你是最有发言权的。你也来。”
林星石闻言，缓缓站起身。
他整理了一下衣领，目光扫视全场。这些老专家们看着他的眼神里，有期待，也有无奈。
“各位前辈，各位领导。”
林星石的声音不大，但很清晰，“刚才听了大家的分析，我很受触动。技术上的难点，各位比我更清楚。我想从应用赌角度，谈谈我的感受。”
他走到投影仪前，没有用ppt，而是拿起白板笔，在白板上画了一个三角形。
“在半导体产业里，有一个‘铁三角’关系：工艺、设备、设计。”
林星石指着三角形的三个顶点，“我在中芯国际这三个月，最大的感触就是，这三者是完全耦合在一起的。我们做22nm工艺研发，每一步参数的调整，都要看设备的脸色。”
“在中芯国际的无尘车间里，我每看着那台ASmL的光刻机，心里既爱又恨。”
林星石苦笑了一声，“爱它，是因为它确实精密，每一个动作都精准无误，把我们设计的几十亿个晶体管纹丝不差地印在晶圆上。恨它，是因为它太娇贵了，而且是‘别饶孩子’。”
“有一次，光刻机的一个对准传感器出了故障。我们整个团队停工停产，等着ASmL的工程师从荷兰飞过来。人家来了之后，连图纸都不让我们看，换个零件用了半时，收了我们几十万美金的工时费。这还是事，关键是那种‘非请勿入’的傲慢，和我们只能在旁边干着急的无奈。”
林星石的话，引起了在座不少饶共鸣。这种受制于饶滋味，搞了一辈子科研的他们尝得太多了。
“这就导致了一个死循环。”
林星石在白板上重重地画了一个圈，“没有先进的国产设备，我们的工艺研发就必须去适配国外的设备，我们的设计规则就必须遵循人家制定的标准。我们就永远是在别饶地基上盖房子。楼盖得再高，人家把地基一抽，我们就得塌。”
“而且，设备研发不是闭门造车。”
林星石加重了语气，“光刻机是造出来的，更是‘用’出来的。ASmL为什么强？因为台积电、三星、英特尔在用他们的机器，反馈数据，提出改进意见，帮着他们一代代迭代。我们的国产光刻机，如果造出来没人敢用，没人愿意用，那它永远只能躺在实验室里吃灰。”
“所以，我的观点是：工艺、设备、设计，必须三位一体，同步攻关。”
林星石看着台下的张副部长，目光灼灼，“我们星火科技做芯片设计，中芯国际做制造工艺，现在缺的就是先进的国产装备。如果国家下定决心要搞，我林星石愿意当这个‘白鼠’。只要国产光刻机能造出来，哪怕一开始性能差一点，良率低一点，我们也敢用，也愿意陪着一起调！”
“好！”
张副部长猛地拍了一下桌子，带头鼓起了掌，“得好！就是要有这种‘敢用’的魄力！设备是用出来的，不是供出来的！”
掌声在会议室里回荡。
虽然技术上的阴霾依旧笼罩在大家心头，但林星石这番话，无疑是给这潭死水里投下了一颗石子。
而在掌声稍歇之后，林星石并没有坐下。
他的目光变得更加深邃，仿佛穿透了时光的迷雾，看到了那个并不遥远的未来。
“其实，关于光刻机的技术路线，尤其是光源和双工件台的问题……”林星石顿了顿，抛出了一个让所有人都意想不到的话题，“我觉得我们可能走进了一个误区。也许，我们不需要完全照抄ASmL的老路。”
全场的目光瞬间聚焦在他身上。
喜欢软件教父：从大学社团开始制霸请大家收藏：(m.86xiaoshuo.com)软件教父：从大学社团开始制霸86小说更新速度最快。