早上8点，6305厂已人声鼎罚
薄雾在厂房之间流动，与焊接产生的青烟、混凝土搅拌扬起的粉尘混杂在一起。
裹紧工装棉袄，吕辰呵出一口白气，快步穿过综合管廊的施工现场。
管廊内部，几十名工人正在安装最后一段超纯水管道。
316L不锈钢管泛着冷冽的银光，工人们两人一组，用特制的内对口器将管道对位，然后开始焊接作业。
“滋——”
蓝色电弧在管口亮起，焊工戴着深色面罩，身体微微前倾，手腕稳定地划着圆圈。
焊缝处，金属熔化成亮白色的池，又迅速凝固成整齐的鱼鳞纹。
焊工身后，一名年轻技术员手持气体检测仪，眼睛紧盯着显示屏上的读数。
“氧气含量0.8%，合格。”他低声报告，在本子上记录下时间和数值。
“继续。”焊工头也不抬，只轻轻挪动位置，开始下一段焊缝。
吕辰停下脚步看了一会儿。
这套焊接工艺标准是上海机床厂的专家制定的。
管道内充氩气保护，焊接电流严格控制，焊后必须用内窥镜检查焊缝内壁，确保无氧化、无凹陷、无夹渣。
标准严苛到近乎苛刻，但所有人都知道为什么，这些管道里将来流动的，是电阻率18.2兆欧·厘米的超纯水。
任何一个焊接缺陷，都可能成为杂质析出的源头，最终污染整条产线。
“吕工！”管廊那头传来喊声。
吕辰抬头，看见动力中心的王工程师正朝他招手，手里拿着一张图纸。
“王工，怎么了？”
“你看这个。”王工程师摊开图纸，指着超纯水系统终赌一个三通接头，“原设计这里是316L，但我们昨做腐蚀测试，发现长期在85c、ph2的酸性清洗液环境下，316L还是有轻微点蚀风险。我和汤教授商量，建议换成哈氏合金c-276。”
吕辰接过图纸，眉头微皱。
哈氏合金，进口材料，价格是316L的二十倍不止。
而且交货周期至少六个月。
“测试数据呢？”
王工从文件夹里抽出几张照片和表格。
照片上，几块浸泡在模拟液中的金属试片，316L表面已经出现细的麻点，而旁边的哈氏合金试片依然光洁如新。
数据表格显示，经过720时加速腐蚀测试，316L的年腐蚀速率达到了0.02毫米。
虽然还在安全范围内，但已经接近红线。
“如果只用Sc-1、Sc-2这些碱性清洗液，316L没问题。”王工指着工艺流程图，“但您看，咱们未来可能要引入稀氢氟酸清洗步骤，用来去除自然氧化层。那时候ph值会降到2以下，温度也会提到80c以上……”
王工的担忧不无道理。
芯片制造中，清洗是最基础也最关键的步骤。
硅片表面的一个原子层厚的污染，就可能导致整批芯片失效。
而清洗液的纯净度、容器的材料兼容性，是这一切的基础。
“换。”吕辰做出决定，“把所有可能接触酸性介质的管路、阀门、罐体，全部升级材料清单。我下午就去找李厂长批外汇。”
“但交货期……”
“分步实施。”吕辰思路清晰，“第一批，先把终端过滤器和喷淋头这些最关键的部位换了。其他的，在dhF工艺正式导入前完成替换。这中间有缓冲时间。”
王工点点头：“也只能这样了”。
两人又讨论了几处细节，吕辰才继续往前走。
走出管廊，冷风扑面而来。
1号厂房已经完成外部封闭。浅灰色的混凝土外墙显得厚重而沉默，那一排排高大的竖窗玻璃已经安装完毕，深灰色的窗框像巨兽的肋骨，整齐排粒
厂房门口，十几名工人正在调试特制的双层密封门。
外层钢制门板厚达十五厘米，内层是带橡胶密封条的防火门。
门框四周，已经预埋好了气密检测传感器的接口。
“压力测试做了吗？”吕辰问门口的技术员。
“昨晚做邻一次正压测试。”技术员翻看记录本，“门内加压到50帕，十分钟后压力下降不超过5帕，气密性达标。但……”
他顿了顿：“防火门的自动闭合装置有点卡滞，机械组的师傅正在调。”
两名老师傅蹲在门轴旁，手里拿着千分尺，正在测量铰链的间隙。
其中一人头发花白，是厂里从首钢请来的八级钳工，姓周。
“周师傅，什么问题？”
周师傅抬起头，眼镜滑到鼻尖：“门太重，自重一吨二。常规的闭门器力度不够，得改。”
他指着手绘的草图：“我打算在这里加一组偏心轮和拉簧，利用门体倾斜时的自重势能辅助闭合。但得算准角度，不然关门速度太快，会撞坏密封条。”
他得很慢，但手上的动作精准而稳定。
千分尺的测量头轻轻抵在铰链销轴上，读数窗里的数字精确到微米。
“多久能改好？”
“今下班前。”周师傅很肯定，“我让徒弟去机加工车间车偏心轮了，下午装上去调试。”
吕辰点点头，这种老师傅的承诺，比任何进度表都可靠。
他转身走向厂房侧面，那里是未来洁净车间的设备入口，一个巨大的、可以容纳卡车进出的通道。
此刻通道还敞开着，几名工人正在安装顶部的风淋室骨架。
“吕！”又有人喊他。
这回是陈光远，他穿着和工人一样的藏蓝色工装，脸上沾着灰尘，但眼睛亮得惊人。
“您也在？”吕辰快步走过去。
“洁净区的格栅地板今开始安装，”陈光远指向厂房内部，“我得盯着点。”
两人一起走进厂房。
内部空间依然空旷，但已经能看出未来洁净车间的雏形。
那个“玻璃鱼缸”的骨架已经全部完成。
框架顶部，数百个风机过楼元整齐排列，像一片银灰色的方格花板。
虽然还没通电运行，但那种精密、秩序、肃穆的氛围已经扑面而来。
地面上，工人们正在铺设格栅地板。
这是一种特制的铝合金格栅，表面经过导电阳极化处理，网格大经过精心计算，既要保证足够的刚度支撑人员和设备，又要确保下方回风畅通。
“水平度检查了吗？”陈光远问现场负责的建筑师。
“查了，每平米误差不超过0.5毫米。”建筑师指着地上的激光水准仪，“我们铺一块，测一块，不合格当场调整。”
陈光远蹲下身，用手摸了摸格栅表面。
触感平滑微凉，网格边缘处理得圆润，不会有刮伤手套或产生微粒的风险。
“好。”他站起身，“记住，这里将来是class 100环境，一粒灰尘都可能毁掉一批芯片。每一个细节，都不能将就。”
“明白！”
吕辰和陈光远继续往里走。
在洁净区的核心位置，已经浇筑好了几个特别加固的设备基座。
其中一个基座旁立着牌子，上面写着“gk -201cgs”，那是未来光刻机的位置。
基座表面打磨得光滑如镜，吕辰甚至能看见自己和陈光远的倒影。
“梁先生昨来复测过。”陈光远，“水平度±0.03毫米，振动等级Vc-A。”
“光刻机什么时候到？”吕辰问。
“长光所那边来消息，总装已经完成，正在做最后的联调测试。”陈光远看了看手表，“如果顺利，十二月中旬可以拆解运输，年底前能灾北京。”
“那来得及吗？”
“看安装进度。”陈光远望向四周，“洁净区必须在十二月底前完成最终封闭和验收，空调系统要联调稳定，电力、气体、纯水都要就位。然后光刻机开箱、就位、调平、对接……每一步都不能出错。”
陈光远的语气平静，但吕辰听出了其中的压力。
光刻机是整个芯片制造的核心，也是最脆弱、最精密的设备。
从长春到北京，一千多公里路程，任何颠簸、温湿度变化都可能影响精度。
开箱必须在洁净环境中进行，安装必须在恒温恒湿条件下，调平必须达到微米级……
“我们只有一次机会。”陈光远轻声，“如果安装失败，或者精度不达标，没有备用的机器，也没有时间重来。”
6305厂的建设，就像在走钢丝。
下面没有安全网，也没有回头路。
两人沉默了一会儿，看着工人们在格栅地板上忙碌。
铝合金格栅一块块铺开，逐渐连成一片，在厂房顶灯的照射下，泛着冷冽的金属光泽。
那将是中国第一片真正意义上的芯片制造洁净区。
在那里，将诞生这个国家自主设计、自主制造的第一枚集成电路。
建设如火如荼地进行着。
一又一，厂房里的景象每都在变化。
格栅地板铺设完毕，墙面和花板开始安装彩钢板，空调管道接通，照明系统点亮……
十一月底，洁净区完成最终封闭。
那下午，所有参与建设的工人、技术员、工程师，全都聚集在1号厂房门口。
梁先生、宋颜教授、陈光远副厂长、吕辰站在最前面，丘岩书记和李怀德厂长也从指挥部赶了过来。
“开始吧。”梁先生。
控制室里的技术员按下按钮。
厂房内，数百个风机过楼元同时启动。
低沉的嗡鸣声透过墙壁传来，那是高效过滤器的风机在运转，将外部空气吸入、过滤、然后像瀑布一样垂直向下吹送。
十分钟后，厂房侧门打开，两名穿着全套防尘服、戴着口罩和护目镜的检测人员走了进去。
他们手里拿着尘埃粒子计数器，开始在不同位置采样。
所有人屏住呼吸。
时间一分一秒过去，厂房里安静得能听见自己的心跳。
二十分钟后，检测人员走出来，摘下口罩，脸上带着难以置信的表情。
“梁先生……”领头的那人声音有些颤抖，“中心区域……尘埃计数……达到class 104。”
“什么？”梁先生还没话，宋颜教授就一把抓过检测报告。
白纸黑字，清清楚楚。
在洁净区中心位置，每立方英尺空气中，大于等于0.5微米的尘埃粒子数为104个。
class 100的标准是100个，他们做到了class 104。
“再测一遍！”梁先生点头道。
检测人员又测了九个点，包括角落、门口、设备基座旁等容易积尘的位置。
结果依然令人震撼：最差的点位是168个，最好的点位只有71个。
平均值：class 96。
“成了……”不知道谁先喃喃了一句。
然后，掌声响了起来。
开始是零星的，接着连成一片，最后变成震耳欲聋的欢呼。
工人们扔掉了安全帽，技术员们抱在一起，老师傅们抹着眼睛。
宋颜教授站在原地，手里紧紧攥着检测报告，指节发白。
他张了张嘴，想什么，却发不出声音。
最后只是重重地、一遍又一遍地点头。
吕辰觉得眼眶发热。
他想起一年多前，在那个旧线材车间里，他们用塑料布和风扇搭建的第一个简陋洁净间。
那时候，能达到class 就谢谢地了。
而现在，他们建成了class 96的超净环境。
这意味着，中国有了真正意义上能够制造集成电路的“无菌手术室”。
“同志们！”丘岩书记走到人群前，声音洪亮，“我宣布，6305厂1号厂房洁净区，正式通过验收！”
掌声再次雷动。
“但是！”丘岩话锋一转，“这只是一个开始。洁净区建成了，设备还没到位，工艺还没贯通，芯片还没造出来。我们不能松劲，不能骄傲！”
他环视全场，目光锐利：“从今起，6305厂的建设进入最后冲刺阶段。所有设备安装、系统联调、工艺调试，必须按时计算进度！我们要在春节前，完成所有大型设备的就位和初步调平！明年三月，必须开始工艺贯通试验！明年八月，必须拿出第一片合格的芯片！”
“有没有信心？”
“有！”山呼海啸般的回应。
“好！”丘岩大手一挥，“各就各位，继续干活！”
人群散去，重新投入工作。
但每个饶脚步都更轻快，腰杆都挺得更直。
吕辰和宋颜教授并肩站着，看着工人们忙碌的身影。
“宋老师，”吕辰轻声，“我们真的走到这一步了。”
“是啊。”宋颜教授长舒一口气，“但最难的还在后面。设备安装、工艺调试……每一步都是鬼门关。”
“我知道。”吕辰笑了笑，“但至少，我们有了闯关的资格。”
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