年味未散，集成电路实验车间的大门，便在晨光中再次打开。
过年仅仅休息了两。
大年初一，所里的领导挨家慰问，家宴团聚的饭菜香在鼻尖萦绕。
初二一早，吕辰便来到了所里，才过去两，吕辰却有一种放了大长假的感觉。
实验车间外，已停了好几辆自行车。
推门进去，熟悉的、混合了金属、机油和某种化学清洁剂的味道扑面而来。
车间里灯火通明，初见喧闹。
“吕，过年好！”
“宋教授，给您拜年了！今年一定顺利！”
“郑老师，气色不错啊，家里年货备得足？”
专家和老师傅们陆续到来，彼此抱拳拱手，互道新年问候。
几张旧桌子临时拼在一起，摆着一饼圆茶，几个搪瓷缸子。
旁边的电炉上，开水烧得滚罚
宋颜教授一本正经地给大家泡着工夫茶，优雅的手法，粗槽茶具，一大杯一大杯的倒在搪瓷缸子里。
“来来来，喝点菜，暖暖胃。”
岳伴教授端起杯子，“咕噜噜”喝了一口：“不错不错，汤色正，回甘好，生津快！”
“老宋就是土匪，昨去我那里，好心招待他，结果趁我不注意，连锅都给我端了，简直有辱斯文。”西工大的胡教授一脸愤愤不平。
“行了行了，别一副臭脸，你别以为我不知道，这也是你去李厂长那里顺来的，好东西大家喝才香。”宋颜教授给他加了一杯。“不过话回来，李厂长有好东西，不事先拿出来，还要老胡你亲自去拿，不地道。”
正着，丘书记和李怀德就走了进来，一人手里提着个大包。
丘书记看着桌上拆开聊茶，嘴角微微抽动。
李怀德笑道：“丘书记，你看我对了没，他们吃了我的好东西，还在这里风凉话。”
李怀德着，把包放在桌了：“这事儿要先明，这茶我也是去丘书记那里拿的，难得胡教授您喜欢，我专门去求了丘书记，他也是连夜回了趟娘家，给大家狠狠搜光了库存，全在这里了，这次可真是出了大血。”
丘岩在，大家还是有点不自在，都没有动。
丘书记挤出一丝笑：“各们老师，我知道大家对我有些看法，不过我也都是为了星河计划，这些茶是我求到四机部，从特供里匀出来的，就当给大家赔礼了。”
李怀德打开包裹，哈哈笑道：“对对对，工作重要，纪律也重要，两条腿才走得稳，来来来，见者有份。大家来支援星河计划，不容易，以后大家的茶，厂里包了。”
陈光远也起身，在包裹里翻出来一饼，笑道：“丘书记、李厂长言重了，我来给大家发。”
着开始发茶叶，不一会儿气氛就缓和了。
大家坐在一起，喝着茶，白色的水汽袅袅升起，混杂着香烟的青色烟雾，让略显清冷的车间多了几分人情的暖意和生气。
聊的都是家常，孩子又长高了，老家来了信，年夜饭吃了什么稀罕物，笑声不时响起，其乐融融。
中午时分，何雨柱系着围裙，带着一食堂的几位师傅，用三轮车拉来了面和馅儿，就在车间角落一个清理出来的工作台上，现场给大家包起了饺子。
白菜猪肉馅的，舍得放油，香气弥漫开来，勾得人肚里馋虫直剑
饺子煮熟，用脸盆盛着端上来，大家围着，蘸着醋和蒜泥，吃得额头冒汗，满嘴油光，年的味道在这简陋的车间里达到了顶峰。
当最后一个饺子下肚，搪瓷缸里的面汤也喝尽，何雨柱带着人收拾完家伙什离开，车间里的气氛便以肉眼可见的速度发生了变化。
笑声渐渐停歇，烟头被摁灭。
人们站起身，伸个懒腰，脸上的轻松和笑意慢慢收敛，取而代之的是一种沉静而专注的神情。
套袖戴上了，记录本和钢笔摆到了顺手的位置，设备的电源被逐次打开，低沉的嗡鸣声开始回荡。
拜年的寒暄、茶叶的清香、饺子的美味，如同一个短暂而温暖的休止符。
此刻，休止符结束，主旋律再度奏响，紧张、艰巨、不容丝毫喘息的中试线攻关工作，毫无间隙地重新投入。
吕辰站在总平面图前，手里那支红蓝铅笔的笔尖，已经磨秃了。图上，“七虎攻坚作战图”的七个方框里，第一个“洁净环境系统”，被画上了一个粗重的红圈，旁边标注着：“岳伴\/郑长枫组，攻坚第38”。
38，对于要建起一条中试线来，太奢侈了。
但他们面对的第一只“老虎”，就露出了狰狞的獠牙。
高效过滤器，成了拦路虎中的拦路虎。
航支援的石棉纤维滤纸，薄得像蝉翼，金贵得像绸缎，总共才五十平方。
铺开来，还不够覆盖光刻区那个“洁净岛”的送风面。
“汤教授，”吕辰找到正在一堆陶瓷片前皱眉的汤渺，“流延成型有进展吗？”
此刻，汤渺教授更像个泥瓦匠，手上沾满了灰白色的浆料。
他摇摇头，指了指旁边几条干燥后依然卷曲、甚至开裂的生瓷带：“粘结剂和塑化剂的配比还是有问题。干燥应力不均匀，一烧结，全翘成瓦片了。”
旁边，岳伴教授蹲在地上，对着一台自制的型风机发呆。
风机吼叫着，吹过一个装满多层超细玻璃纤维棉的“夹心饼干”式自制过滤器。
他手里拿着一个简陋的颗粒计数仪，原理是用光散射数灰尘，读数跳得让人心慌。
“不行，”岳伴关掉风机，噪音戛然而止。
他声音沉重：“这滤饼阻力太大，效率勉强够中效，离高效差得远。最关键的是，它自己就在掉纤维！简直是扬尘器！”
正在焊接不锈钢层流罩箱体的郑长枫，也走了过来，脸上被电焊弧光灼出一块红印。
“岳教授，梁工那边催了，垂直层流工作台的箱体本周必须密封检漏。可高效过滤器不到货，我们这‘洁净岛’就是无源之水。”
压力，像车间里日益浓厚的金属和灰尘的味道，无处不在。
陈光远看着外面阴沉的。
他想起邓教授的论文，此刻正在国际学术界引起阵阵波澜，吸引着对手的目光和资源。
而他们这里，却在为最基础的空气过滤发愁。
“不能等。”陈光远声音不高，但斩钉截铁，“两条腿走路。汤教授，你带人继续攻流延法，但目标调整：不求大面积薄片，先试制尺寸、高强度的多孔陶瓷过楼元，哪怕只够给关键设备做自带送风头的终极过滤段。”
“那主要的送风系统呢？”岳伴问。
“用夹心饼干。”陈光远指指那个简陋的过滤器，“但不是最终方案。郑老师，你配合岳教授，把它升级。我们不用玻璃纤维棉了，那东西确实爱掉渣。我去打听，有没有够细够结实，本身不产尘的其他纤维材料。”
岳教授点点头：“去纺织研究院找找，还有，造纸厂也许有门路。”
就是这种思路，他们缺的不是聪明才智，是信息和材料。
陈光远又道：“另外，梁工那边，层流罩的密封和检漏标准不能降。过滤器我们可以后续更换，但结构密封一旦留下隐患，未来就是灾难。”
陈光远风风火火的离去，吕辰走到车间中央，那里用石灰画出了光刻机和涂胶台的预定位置。
哈工大的包康建教授，正带着人用水平仪和自制的准直望远镜，反复调整一个混凝土基础块的水平。
“包教授，微振动测试怎么样了？”
包康建直起腰，揉了揉后颈。
“独立基础浇筑得很扎实，我们用的钢丝绳隔振器初步测试，能卖大部分来自地面的中高频振动。”他指着窗外隐约可见的铁轨，“但是，火车经过时的低频振动，尤其是那种‘轰隆隆’的次声波，隔振器效果有限。而光刻对准，最怕的就是这个。”
“有什么办法？”
“加质量。”包康建言简意赅，“给光刻机自身再加一个高质量的平台，最好是花岗岩的，质量越大，惯性越大，越难被低频振动带动。但问题是……上哪找那么大、那么平的花岗岩？而且怎么运进来，怎么安装？”
又是材料，又是加工。
吕辰也感觉太阳穴在跳，他知道，这只是开始。
洁净、振动、水电风气……，七只老虎，环环相扣，一只比一只凶猛。
“包教授，花岗岩我来想办法。”吕辰深吸一口气，“您先按照最理想的方案设计平台结构和隔振系统。材料问题，我们一起攻克。”
就在这时，上海医工院沈工程师，一脸铁青地快步走来。
“吕，出问题了。”
“怎么了？”
“离子交换柱，南开大学提供的核子级树脂，才运行两周，脱盐效率就急剧下降。我们拆开检查，发现树脂颜色发黑，床层板结。”沈工的声音带着压抑的怒火和心疼，“那树脂，比金沙还贵！”
“原因？”
“初步判断，是再生用的电子级酸碱纯度不够，或者再生过程中引入了污染。但上海试剂总厂拍胸脯保证他们的产品是最高级别。”沈工眉头拧成疙瘩，“也可能是我们的再生操作流程有问题，或者……管道有我们没检测到的微量渗漏。”
吕辰的心沉了一下。
超纯水是芯片的“血液”，血液被污染，一切归零。
“彻底排查。”吕辰斩钉截铁，“从试剂来源、储存容器、再生步骤、管道焊缝，一寸一寸地查。沈工，我们得成立一个事故分析组，记录每一个细节，分析每一种可能。这次事故的教训，要比那点树脂珍贵得多！”
沈工重重地点零头，转身快步离去，背影有些佝偻。
大家都知道他压力有多大。
傍晚，色擦黑。
车间里依然灯火通明，各种敲打、焊接、调试的声音交织在一起。
吕辰回到办公室，桌上摊开着《中试线标准操作规程（草案）》的草稿。
他拿起笔，想在“超纯水系统再生操作”章节加上更严格的步骤确认和双人复核要求，却觉得笔有千斤重。
真正的挑战，不是写下这些条文，而是让每一个人，从老师傅到新学徒，从大学教授到青年技工，都从心底里接受这些条文，并一丝不苟地执校
这比造出合格的多孔陶瓷，比找到平整的花岗岩，甚至比提纯电子级试剂，都要难。
因为这是在改造一种习惯，一种文化，一种沿袭了多年、依赖于个人经验和手感的工业传统。
窗外，北风呼啸，卷起地上的雪末。
中试线的战斗，刚刚打响。
而第一只老虎，已经让他们见识了什么叫举步维艰。
……
忙碌中，时间如水，日夜不停。
春寒料峭的三月，实验车间却像个巨大的蒸笼。
不是因为暖气，而是因为密集的设备散热和人体蒸腾的热气。
“洁净之虎”虽未被完全降服，但已被初步困住,通过“夹心饼干”前置过滤、局部陶瓷过滤器强化、以及近乎苛刻的洁净服管理和风淋程序，核心区域的尘埃计数被勉强压在了可接受的临界线上。
但真正的考验，在设备联调开始后，才如幽灵般悄然浮现。
光刻机，那台由长光所精心改进的半接触式光刻机，在自重数吨的花岗岩平台和包康建教授团队设计的“被动-主动复合隔振系统”上，终于达到了令人满意的静态稳定性。
然而，当第一次进行真正的光刻对准时，问题来了。
在双筒对准显微镜下，操作员试图将掩模版上的图形与硅片上的标记精确套合。
每当他认为已经对准，准备曝光时，图形总会发生微的、难以解释的漂移。
有时向左几个微米，有时又向上跳动一下。
“像是……它在自己呼吸。”操作员杨，一位从兰州510所抽调来的年轻技术员，沮丧地摘下眼镜揉着眼睛。
“不是呼吸，是‘热膨胀’在捣鬼。”长光所的光机专家卢工，指着光刻机内部复杂的金属结构，“机器自身光源的热量、环境温度的细微波动，都会让这些金属杆、透镜座发生微米级的伸缩。我们的控制系统，还没有聪明到能实时补偿这种变化。”
这不是设计缺陷，而是国内材料工艺和控制理论面临的普遍花板。
解决方案来自一次意外的碰撞。
一中午，负责设备冷却水循环的老师傅牛大群，发现光刻机自带的循环水温控器不太灵光，水温波动超过了规定值。
他嘟囔了一句：“这玩意儿，还不如咱厂里热处理炉子上的‘掐丝珐琅’控温稳当。”
这话被旁边正在啃冷馒头的吴国华听见了。
他猛地停下咀嚼。
“牛师傅，您是……用我们自己的‘掐丝珐琅’温控模块，来给光刻机的冷却水和关键结构做主动温补？”
“啊？我随口一……”牛大群挠挠头。
但吴国华的眼睛亮了，他立刻找来诸葛彪和钱兰。
几后，一套粗糙但构思巧妙的“分布式温度监测与微加热补偿系统”被设计出来。
他们在光刻机几个关键的热膨胀敏感部位贴上了热电偶，并用“掐丝珐琅”工艺制作了微型的薄膜加热片和pId控制电路。
系统实时监测温度，并通过微加热反方向补偿热胀冷缩。
原理简单，实现极难。
加热片的功率要精确到毫瓦级，否则会引入新的热干扰。
pId参数需要反复调试。
那几，光刻机旁成了不眠之地。
吴国华、诸葛彪、杨和牛大群轮番上阵，盯着示波器上的温度曲线和对准标记的位移数据，像一群试图驯服烈马的骑手。
终于，在第三个凌晨，当环境温度又经历一次幅下降时，屏幕上的对准标记稳稳地停住了，几乎没有晃动。
“成了！”杨发出一声压抑的欢呼，眼眶瞬间红了。
这只是“设备驯服”战役中的一场胜。
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