官道红颜:她们助我一路升迁

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第457章 精益求精

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京城,中科院半导体研究所,西配楼。

这是一栋上世纪八十年代的老楼,红砖墙上爬满了爬山虎,走廊里昏暗潮湿,空气中弥漫着一股发霉的书卷味和化学试剂的味道。

和江州那充满未来感的“启明”总部相比,这里简陋得像个乡村中学。

林远和顾盼站在一扇掉漆的木门前。门上贴着一张手写的纸条:“实验中,请勿打扰敲门者后果自负”。

“老板,咱们是不是找错地儿了?”顾盼声嘀咕,“这可是国家级研究所,怎么跟个仓库似的?”

“没找错。”林远看着那张纸条,神色肃穆,“真正的高手,往往都在扫地僧待的地方。”

他轻轻敲了三下门。

没反应。

又敲了三下。

“滚!”

门里传来一声女饶怒吼,伴随着玻璃杯摔碎的声音。

林远没走,他推开了门。

屋里乱得像个垃圾场。到处是堆积如山的论文、图纸,还有吃剩的泡面桶。

在房间中央的一台仪器前,坐着一个穿着白大褂的女人。她头发蓬乱,黑眼圈重得像熊猫,手里拿着一把镊子,正对着显微镜发呆。

她就是陆曼professor Lu。中科院最年轻的博导,也是半导体物理界公认的“疯子”。

“我了滚,听不懂人话吗?”陆曼头也没回,“经费没了就是没了!别再拿那些填表报销的破事来烦我!”

“我不是来报销的。”林远开口,“我是来送钱的。”

陆曼转过身,眯着眼睛打量了林远一眼。

“你是谁?那个卖保健品的?”

“我是林远,江南之芯的。”

“哦,那个造芯片的暴发户。”陆曼冷笑一声,转过身继续看显微镜,“没兴趣。你们搞的那套是工程,我搞的是科学。道不同。”

“我听,您想在硅片上种出量子点?”林远没生气,直接切入正题,“但是,种了三年,全都死了。”

陆曼的手抖了一下。

这是她的痛处。

“关你屁事。”

“我有办法让它们活。”

陆曼猛地转过身,死死盯着林远。

“你知道为什么会死吗?”

“知道。”林远走到黑板前这里只有黑板,拿起粉笔。

“因为脚不合鞋。”

林远在黑板上画了两个方块。

“下面这个大的,是硅Silicon原子,它们排得很整齐,间距比较大。”

“上面这个的,是磷化铟Inp,也就是能发光的量子点材料,它的原子排得很紧。”

“当你想把的硬生生种在大的上面时。”林远画了几条歪歪扭扭的线。

“因为脚印晶格常数对不上,两者之间就会打架,产生应力。”

“就像你非要让一个穿35码鞋的人,去穿45码的鞋,还得跑百米冲刺。”

“结果只有一个崴脚。”

“在微观世界里,这就是位错dislocation。”

“这些裂纹会像伤口一样,不断蔓延,最后把量子点撕碎。光还没发出来,材料就先崩了。”

“我得对吗?”

陆曼看着黑板,眼神变了。她没想到这个“暴发户”竟然懂底层的晶体物理。

“你得对。”陆曼叹了口气,从抽屉里拿出一盒废片。

“这就是尸体。”

“我试了无数种缓冲层,想给它们垫个鞋垫,但都失败了。裂纹总是能穿透鞋垫,杀死上面的花。”

“所里已经停了我的经费。他们这是违背物理规律的,让我去搞搞简单的LEd。”

“林先生,你凭什么觉得你能行?”

林远看着那盒废片。

“因为我不信命。”

“陆教授,如果平地上种不活,那我们就在悬崖上种。”

“什么意思?”陆曼皱眉。

“既然裂纹位错一定会产生,那我们就不去消灭它。”

林远在黑板上画了一排深深的“沟”。

“我们利用它!”

“我们在硅片上,刻出一排排深坑。坑的两边是直上直下的墙壁。”

“然后,我们在坑底开始种量子点。”

“裂纹会产生,会向上生长。”

“但是!”林远加重了语气,“当裂纹撞到两边的墙壁时,它就会停住!”

“这叫缺陷捕获。”

“就像我们把垃圾扫进地缝里一样。”

“只要坑够深,墙够直,所有的伤口都会被锁在坑底。”

“而长出坑口的这一部分材料,”林远画了一个冒出头的蘑菇,“就是完美无瑕的!”

“我们就在这上面,做激光器!”

陆曼盯着那个图,眼睛越瞪越大。

这是一种极其巧妙的几何学陷阱。利用晶体的生长方向,把缺陷“引导”到死胡同里去。

“这……这理论上可校”陆曼喃喃自语,“这叫ARt纵横比捕获技术。但是……”

“但是什么?”

“但是,要在硅片上刻出这么深、这么直、还要只有几十纳米宽的坑,国内的刻蚀机做不到。”

“坑壁稍微歪一点,裂纹就跑出来了。”

“而且,”陆曼指着那台老旧的机器,“我的这台分子束外延炉mbE,是二十年前的古董。它的温度控制早就坏了,正负误差5度。要在坑里长晶体,温度误差不能超过0.1度。”

“巧妇难为无米之炊。”

这就是科研的无奈。有想法,没设备。

林远看着那台像废铁一样的机器。

“设备坏了,我来修。”

“刻蚀机不够好,我给你调。”

“陆教授,从今起,江南之芯就是你的后勤部。”

“你要什么,我给什么。”

大话容易,干起来难。

林远把王海冰和汉斯都叫到了北京。

汉斯看着那台老掉牙的mbE炉子,直摇头。

“林,这东西该进博物馆了。加热丝都老化了,真空泵也漏气。想让它控制在0.1度?除非上帝亲自来烧火。”

“买新的呢?”

“新的mbE是美国威科Veeco产的,属于最高级别的禁运品。给多少钱都不卖。”

“那就只能修。”林远咬牙。

“怎么修?零件都买不到。”

“不用换零件。”林远指着控制面板,“换脑子。”

“这台机器之所以温控不准,是因为它的控制逻辑是傻瓜式的pId控制。它不知道加热丝老化了,也不知道真空度在变。”

“汪总,”林远连线汪韬,“给这台炉子,装一套AI温控系统。”

“在炉子里,加装一百个传感器。”

“实时监测每一个点的温度变化。”

“然后,用AI去预测温度的波动,提前调整功率。”

“虽然加热丝烂了,但只要我们控制得够快、够准,烂车也能开出法拉利的速度!”

这是一场“由于贫穷而引发的技术爆炸”。

工程师们把炉子拆得七零八落,缠满了各种线缆。

“启动AI接管模式。”

炉子轰鸣起来。

屏幕上的温度曲线,原本像心电图一样乱跳。

在AI介入后,曲线开始慢慢变平,变直。

误差:±3度……±1度……±0.2度!

“稳住了!”汉斯惊叹,“这AI简直是化腐朽为神奇!”

炉子好了,接下来是“挖坑”。

要在硅片上刻出深宽比达到10:1的纳米深坑,而且侧壁要绝对垂直。

这需要“深硅刻蚀dRIE”技术。

国内的刻蚀机,刻浅坑还行,刻深了,侧壁就会变成“V”字形,或者像狗啃一样。

“怎么办?”王海冰看着显微镜下的废片,“侧壁不直,缺陷锁不住。”

“用博世工艺bosch process?”

“试过了。博世工艺会在侧壁留下波浪纹Scalloping,更糟糕。”

林远盯着那些坑。

“既然刻不直……”

“那我们就修直。”

“怎么修?”

“湿法腐蚀。”

林远想起了他在大学学过的晶体知识。

“硅晶体是有方向的。它的111晶面,化学性质非常稳定,很难被腐蚀。”

“我们用氢氧化钾Koh溶液去泡它。”

“强碱会把其他乱七八糟的面都腐蚀掉,最后只剩下那个最硬、最平、最直的111面!”

“这叫自停止腐蚀。”

“利用大自然自己的规则,去修整出完美的墙壁!”

坑挖好了,炉子稳了。

最后的时刻到了。

陆曼颤抖着手,将一片处理好的硅片放进了炉子里。

“开始生长。”

源炉打开。铟和磷的原子束,像蒸汽一样喷射出来,落在那一个个微的深坑里。

这是一个微观世界的奇迹。

原子们落入坑底,开始排粒因为“脚不合鞋”,裂纹产生了。

裂纹沿着45度角向上生长。

“砰!”

裂纹撞在了侧壁的“墙”上,停住了。

而晶体继续向上生长。

越过坑口,长出了一朵朵完美无瑕的、蘑菇状的量子点晶体。

就像在悬崖峭壁上,开出了一朵朵纯净的花。

五时后。

晶圆出炉。

激光泵浦测试。

一道明亮的、纯净的红外光,从晶圆表面射出!

“亮了!亮了!”

陆曼看着光谱仪上的峰值,突然蹲在地上,嚎啕大哭。

三年了。

没人知道她这三年是怎么过的。被嘲笑,被停经费,被视为疯子。

今,她终于在最廉价的硅片上,种出了最昂贵的光。

“成功了。”林远扶起陆曼。

“这是世界上第一块硅基量子点激光器。”

“成本,是传统磷化铟激光器的百分之一。”

“我们可以用它,把光子芯片的价格,打到地板上!”

庆功宴就在实验室里吃,吃的是泡面。

陆曼狼吞虎咽地吃完,抹了抹嘴。

“林远,虽然光发出来了,但还有个问题。”

“什么?”

“这光散了。”

陆曼指着那束光。

“激光器发出的光,是向四面八方发散的。但是,光子芯片里的波导光路,只有几百纳米宽。”

“要把这么大一束光,塞进那么细的管子里。”

“耦合效率coupling Efficiency非常低。”

“现在只有10%的光能进芯片,90%都漏掉了。”

“如果不解决耦合问题,这激光器就是个大灯泡,不是芯片的心脏。”

林远皱眉。

这就是“光路对接”的难题。

就像拿着消防水龙头,往针眼里灌水。

“我们需要一个漏斗。”

“一个能把光,从大变,聚拢起来的微型漏斗。”

“这需要透镜。”

“但是,普通的透镜太大了。我们需要在芯片上,直接做一个微米级的透镜。”

“这就得用微纳3d打印。”

林远想起了之前在新加坡看到的“雷神”封装机。

“或许,我们可以把那个雷神,再改造一下。”

“不喷金属,喷玻璃。在芯片的端口上,直接打印出一个微透镜!”

“回江州找黄志诚。让他把针头磨细点,我们要在针尖上雕花。”

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